SEMI F76 用于评估暴露于腐蚀性气体的气体系统组件的微粒贡献的测试方法

SEMI F76 标准是在国际半导体设备与材料协会 (SEMI) 的国际标准制定计划下制定的，它定义了一种测试方法，用于比较气体处理组件在腐蚀性气体环境中产生颗粒物的可能性。该标准旨在为一组待比较的组件提供实用的性能数据，以便在选型过程中进行比较。所描述的测试方法适用于阀门、颗粒过滤器和低压调节器。

SEMI 标准为制造商提供有关制造半导体芯片和其他相关设备所涉及的化学品和材料工艺的指导。 由于这些标准，公司可以进入国际市场，最大限度地降低设计风险并提高生产力。

对于半导体行业而言，高纯度、耐化学性、密度和精度是产品开发和制造过程的重要工具。 半导体材料是通过对其施加机械功而获得导电性能的材料。 这些材料在正常条件下是绝缘体，当施加热、光、磁效应或电压等外部效应时，它们会释放一些电子并变得导电。 当这种施加的外部效应被消除时，这些物质会再次恢复到绝缘状态。 由于这些特性，半导体被广泛应用于电子领域。

SEMI 标准还涉及存储/压缩气体源和分配系统。 它通常也指高温扩散步骤中的剧毒添加剂气体。

在制定本标准时，参考了以下SEMI标准：

• SEMI C59 氮气规范
• SEMI E66 质量流量控制器确定粒子贡献的测试方法
• SEMI F43 使用点气体净化器和气体过滤器以及测定颗粒添加剂的试验方法

我们的组织在为各个行业的企业提供的众多测试、测量、分析和评估研究中，还提供测试服务，以评估暴露于 SEMI F76 标准范围内的腐蚀性气体的气体系统组件的颗粒贡献，其训练有素的专业员工和先进的技术设备。