استاندارد SEMI F104 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، الزامات را توصیف می کند و روش های آزمایشی را برای ارزیابی و مقایسه اجزاء در جریان مایع فوق خالص آب از نظر سهم ذرات ارائه می کند. این استاندارد دو روش آزمایشی را برای ارزیابی سهم ذرات تعریف می‌کند: روش آزمایش شستشو و روش آزمایش دینامیکی.
هر دو روش آزمایش برای اجزای سیستم آب شیمیایی مایع و فوق خالص که برای استفاده در ابزارهای تولید نیمه هادی و تجهیزات جانبی در نظر گرفته شده است، اعمال می شود.
روش های آزمایشی شرح داده شده در این استاندارد، آزمایش هایی برای اندازه گیری سهم ذرات اجزاء در هنگام استفاده از آب فوق خالص به عنوان محیط آزمایش است. برای اهداف این استاندارد، آب فوق خالص باید حداقل الزامات ذکر شده در استاندارد را برآورده کند. هنگام استفاده از این روش های آزمایشی، از یک ابزار اندازه گیری ذرات نوری مایع برای اندازه گیری عملکرد استفاده می شود. این دستگاه معمولاً به عنوان ذرات شمار برای تشخیص و نظارت بر آلودگی ذرات در برخی از محیط‌های تمیز از جمله هوا، آب و مواد شیمیایی استفاده می‌شود. شمارنده ذرات در فناوری‌های صنعتی مانند قطعات و مجموعه‌های الکترونیکی، محصولات دارویی دارویی و دستگاه‌های پزشکی و نفت و گاز برای پشتیبانی از شیوه‌های تولید پاک‌تر استفاده می‌شوند.
هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
در میان آزمایش‌ها، اندازه‌گیری‌ها، تحلیل‌ها و ارزیابی‌های متعددی که سازمان ما برای کسب‌وکارها در بخش‌های مختلف ارائه می‌دهد، ما همچنین خدمات آزمایشی برای ارزیابی محتوای ذرات در اجزای مورد استفاده در سیستم‌های توزیع آب فوق خالص و مواد شیمیایی مایع تحت استاندارد SEMI F104، با استفاده از کارکنان آموزش‌دیده و متخصص و تجهیزات پیشرفته فناوری خود ارائه می‌دهیم.
برای دریافت قرار ملاقات، برای دریافت اطلاعات دقیق تر و یا درخواست ارزیابی، می توانید از ما بخواهید فرم ما را پر کند و به شما برسد.
