
SEMI F 64، که در چارچوب یک برنامه استاندارد بینالمللی به نام «بینالمللی تجهیزات و مواد نیمههادی» (SEMI) تدوین شده است، که شامل فعالیتهایی است که به صنایعی مانند نیمههادیها، مدارهای مجتمع، ترانزیستورها، دیودها و نمایشگرهای صفحه تخت در سراسر جهان سود میرساند، یک روش آزمایش برای توصیف یک کنترلکننده جریان جرمی که برای نصب در سیستم توزیع گاز در نظر گرفته شده است، تعریف میکند. این روش آزمایش برای تعیین تأثیر شرایط فشار ورودی و خروجی گذرا و پایدار بر عملکرد کنترلکننده جریان جرمی اعمال میشود.

این روش تست یک مبنای مشترک برای ارتباط بین تولید کنندگان و کاربران در رابطه با آزمایش و توضیح اثرات فشار کنترل کننده جریان جرمی فراهم می کند.
با این روش تست، اثرات فشار گذرای بالادست (ورودی) و پایین دست (خروجی) بر دبی مشخص و واقعی مشخص میشود. این روش آزمایشی نتایج جریان خروجی واقعی را در مقابل جریان مشخص شده و نقطه تنظیم کنترل کننده جریان جرمی تحت تأثیر فشار ورودی حالت پایدار نشان می دهد. این روش برای کنترل کننده های جریان جرمی با محدوده جریان حداکثر تا 1000 sccm (سانتی متر مکعب استاندارد در دقیقه) اعمال می شود.
افزایش فشار باعث فشرده شدن گاز می شود. گازها چگالی بالاتری دارند و حجم کمتری را اشغال می کنند. به عبارت دیگر، اگر جرم خاصی از گاز در جریان باشد، حجم آن کمتر است. از آنجایی که جرم یکسانی از گاز از طریق همان لوله جریان می یابد، سرعت گاز فشرده کاهش می یابد.
در کاربردهای گاز، نوسانات فشار گاز می تواند بر سرعت گاز تأثیر بگذارد، بنابراین به طور قابل توجهی بر ابزار اندازه گیری جریان گاز تأثیر می گذارد.
اساساً جریان اندازه گیری حجم هوای خروجی در واحد زمان است. سرعت به سرعت حرکت هوا در واحد زمان اشاره دارد. فشار اندازه گیری نیروی اعمال شده به یک منطقه است.
در میان آزمایشات، اندازه گیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی های متعددی که شرکت ما برای کسب و کارها در بخش های مختلف ارائه می کند، با کادر آموزش دیده و متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته، خدمات تست برای تعیین اثرات فشار بر جریان واقعی و نشان داده شده برای جرم دستگاه های کنترل جریان در محدوده استاندارد SEMI F64 می دهد.
