
استاندارد SEMI F76 که تحت یک برنامه استاندارد بینالمللی به نام Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) تدوین شده است ، یک روش آزمایشی برای مقایسه اجزای فرآوری گاز از نظر تولید ذرات بالقوه در سرویس گاز خورنده تعریف میکند. این استاندارد به عنوان یک روش عملی برای تولید دادههای عملکرد برای گروهی از اجزایی که قرار است در یک فرآیند انتخاب با هم مقایسه شوند، طراحی شده است. روش آزمایش شرح داده شده برای شیرها، فیلترهای ذرات و تنظیمکنندههای فشار پایین قابل استفاده است.

استانداردهای SEMI راهنمایی هایی را در مورد فرآیندهای شیمیایی و مواد درگیر در ساخت تراشه های نیمه هادی و سایر دستگاه های مرتبط به تولیدکنندگان ارائه می دهند. به لطف این استانداردها، شرکت ها می توانند وارد بازارهای بین المللی شوند، ریسک های طراحی را به حداقل برسانند و بهره وری خود را افزایش دهند.
برای صنعت نیمه هادی، خلوص بالا، مقاومت شیمیایی، چگالی و دقت ابزار مهمی برای توسعه محصول و فرآیندهای تولید هستند. مواد نیمه رسانا موادی هستند که با اثر کار مکانیکی اعمال شده بر روی آنها خاصیت رسانایی به دست می آورند. این مواد که در شرایط عادی عایق هستند، با اعمال اثرات خارجی مانند گرما، نور، اثر مغناطیسی یا ولتاژ الکتریکی، مقداری از الکترون های خود را آزاد کرده و رسانا می شوند. وقتی این اثر خارجی اعمال شده از بین رفت، این مواد دوباره به حالت عایق باز می گردند. به لطف این ویژگی ها، نیمه هادی ها به طور گسترده ای در زمینه الکترونیک استفاده می شوند.
استانداردهای SEMI همچنین به منابع گاز ذخیره شده / فشرده و سیستم های توزیع مربوط می شود. همچنین به طور کلی به گازهای افزودنی بسیار سمی در طی مراحل انتشار در دمای بالا اشاره دارد.
هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
سازمان ما، در میان آزمایشها، اندازهگیریها، تجزیه و تحلیلها و مطالعات متعددی که برای کسبوکارها در بخشهای مختلف ارائه میکند، همچنین خدمات آزمایشی را برای ارزیابی سهم ذرات از اجزای سیستم گازی در معرض گاز خورنده در محدوده استاندارد SEMI F76 ارائه میکند. کارکنان آموزش دیده و متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته.
