روش تست SEMI F72Auger برای تست‌های طیف‌سنجی الکترونی (AES) سطوح مرطوب اجزای فولاد ضد زنگ 316L غیرفعال شده

هدف استاندارد SEMI F72 که تحت یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، توصیف یک روش آزمایش برای توصیف ترکیب سطح اجزای فولاد ضد زنگ 316L غیرفعال شده برای نصب در یک سیستم توزیع گاز با خلوص بالا است. . این روش تست برای اعمال سطوح مرطوب لوله فولادی ضد زنگ، اتصالات، شیرها و سایر اجزا به عنوان معیاری برای اثربخشی غیرفعال سازی طراحی شده است. فرآیند غیرفعال سازی فرآیند خنثی سازی روی آهن پس از استفاده از اسید زنگ زدا است.

هدف از این روش تست، تعریف مجموعه ای کلی از پارامترها و شرایط ابزار است که اندازه گیری های قابل تکرار را در لایه اکسید غیرفعال غنی شده با کروم به دست می آورد. این روش تست برای مشخص کردن ترکیب و ضخامت لایه اکسید غنی شده با کروم سطوح فولاد ضد زنگ و تشخیص آلودگی سطح در لوله‌ها، اتصالات، شیرها و سایر اجزاء تهیه شده است. این روش شامل تشخیص و اندازه‌گیری ترکیب عنصر سطحی توسط طیف‌سنجی الکترونی اوگر (AES) است. این روش آزمون همچنین روش آزمایشی را برای مشخصات ترکیبی عمق کروم، آهن، نیکل، اکسیژن و کربن که از سطح برداشته شده از طریق لایه های اکسید و به فلز پایه گسترش می یابد، توصیف می کند. این اندازه گیری اطلاعاتی در مورد ضخامت اکسید و غنی سازی کروم در سرتاسر ناحیه غیرفعال شده ارائه می دهد.

با استفاده از طیف‌سنجی الکترونی اوگر (AES)، نمونه توسط الکترون‌های پر انرژی بمباران می‌شود و برخی از الکترون‌ها از اتم‌های هدف حذف می‌شوند و اتم‌ها یونیزه می‌شوند. از آنجایی که اتم یونیزه شده ناپایدار است، یک الکترون از اوربیتال بیرونی جای خالی الکترون را در اوربیتال داخلی پر می کند. این روش یک تکنیک تحلیل تصویر بسیار قدرتمند است.

هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:

• مشخصات SEMI C57 Argon
• مشخصات نیتروژن SEMI C59

سازمان ما، در میان مطالعات متعدد تست، اندازه‌گیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی که برای مشاغل در بخش‌های مختلف انجام داده است، با کارکنان آموزش دیده و متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته، روش تست طیف‌سنجی الکترونی اوگر (AES) در محدوده SEMI است. استاندارد F72 روش تست اکسید سطوح مرطوب قطعات فولاد زنگ نزن 316L غیر فعال شده است و همچنین خدمات تست را برای ارزیابی لایه ارائه می دهد.