
استاندارد SEMI F106 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، که شامل فعالیت هایی به نفع صنایعی مانند نیمه هادی ها، مدارهای مجتمع، ترانزیستورها، دیودها و صفحه نمایش تخت در سراسر جهان است. توسط کمیته فنی جهانی گازها یک استاندارد است. این استاندارد یک روش آزمایشی برای تشخیص نشت هلیوم داخلی برای سیستم های توزیع گاز توصیف می کند. این استاندارد هم سیستم های آب بندی فلزی معمولی و هم سیستم های توزیع گاز روی سطح را پوشش می دهد.

روش آزمایش ارائه شده برای انواع سیستم های توزیع گاز با خلوص بالا که در کارخانه های تولید نیمه هادی ها و مناطق تحقیق و توسعه قابل مقایسه استفاده می شوند، قابل اجرا است.
آزمایش نشت هلیوم برای تشخیص نشت های احتمالی در انواع مختلف سیستم های بسته یا مهر و موم شده که از هلیوم به عنوان گاز ردیاب استفاده می شود، استفاده می شود. با این آزمایش، غلظت نشت (نشت) اندازه گیری و به عنوان میزان نشتی تعیین می شود.
ویژگی های اصلی گاز هلیوم که آن را برای آزمایش نشت ایده آل می کند عبارتند از:
به طور خلاصه، روشهای آزمایش مبتنی بر هلیوم یک فناوری تست نشت بسیار حساس هستند که مجهز به تشخیص نشتهای بسیار کوچک هستند که با روشهای دیگر تست نشت امکانپذیر نیست. برای این آزمایش از تکنیک خلاء بالا استفاده می شود. آستانه های تست نشتی بسیار پایین ارائه شده است، سطحی از حساسیت که امکان مقایسه بی نظیر بین اجزای بسته را فراهم می کند.
سازمان ما در میان مطالعات متعدد تست، اندازهگیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی که برای کسبوکارها در بخشهای مختلف انجام میدهد، خدمات آزمایشی را نیز برای تعیین یکپارچگی نشت سیستمهای توزیع گاز با نشت یاب هلیوم در محدوده استاندارد SEMI F106 ارائه میکند. کارکنان آموزش دیده و متخصص و تجهیزات پیشرفته فن آوری آن.
