
استاندارد SEMI F114 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، یک روش آزمایشی برای تعیین ترکیبات آلی بر روی سطوح مرطوب سیستم ها و اجزای تحویل شیمیایی با خلوص فوق العاده بالا (UHP) تعریف می کند.

این روش تست برای سیستم ها و اجزای تحویل شیمیایی با خلوص فوق العاده بالا قابل استفاده است. نمونههایی از آزمایشها شامل شیرها، تنظیمکنندهها، فیلترها و کنترلکنندههای جریان جرمی، لولهکشی، اتصالات جوش و اتصالات مهر و موم صورت است. روش تست شرح داده شده همچنین برای تشخیص آلودگی از محل مونتاژ یا تولید استفاده می شود. این روش آزمایشی جزئیات روش حذف و اندازهگیری آلایندههای آلی موجود بر روی سطوح مرطوب را شرح میدهد.
به طور خلاصه، از این روش تست می توان برای ارزیابی اثربخشی فرآیندهای مختلف شستشو یا تمیز کردن نیز استفاده کرد.
هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
آلایندههای آلی به عنوان مواد شیمیایی مبتنی بر کربن مانند حلالهای آلی، آفتکشها، زبالههای نفتی، چوب و ترکیبات فرار در فاز گازی یا مایع تعریف میشوند. آلایندههای آلی عموماً اثرات منفی بر محیط زیست دارند. مقادیر ناچیزی از بقایای آلایندههای آلی که در خاک، آب، هوا و گاهی اوقات غذا یافت میشوند، برای سلامت انسان و محیط زیست مضر تلقی میشوند. آلایندههای آلی در فاز گازی یا مایع ممکن است شامل حلالها، پیشسازها و واسطههای شیمیایی و ترکیبات آلی فرار (VOCs) به شکل ترکیبات نفتی باشند.
سازمان ما خدمات تست تعیین آلاینده های آلی بر روی سطوح مرطوب سیستم ها و اجزای توزیع شیمیایی با خلوص فوق العاده بالا را در محدوده استاندارد SEMI F114 با کادر آموزش دیده و متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته از جمله تست، اندازه گیری متعدد ارائه می دهد. ، تجزیه و تحلیل و مطالعات ارزیابی را برای مشاغل در بخش های مختلف ارائه می دهد.
