استاندارد SEMI F70 که تحت یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، یک استاندارد فنی تایید شده توسط کمیته فنی جهانی گازها است. هدف این استاندارد ارائه یک روش استاندارد و روش آزمایش برای اندازه گیری عملکرد افزودنی ذرات یک سیستم توزیع گاز بر حسب تعداد ذرات اضافه شده به گاز جریان یافته در سیستم است. این روش استاندارد برای استفاده گسترده توسط تامین کنندگان سیستم توزیع گاز، تامین کنندگان تجهیزات و کاربران نهایی در نظر گرفته شده است.
این روش تست برای سیستم های توزیع گاز معمولی روی سطح مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی اعمال می شود. در طول آزمایشات، استاندارد SEMI F70.1-0320 پیوست شده به این استاندارد در نظر گرفته شده است (روش آزمایش برای تعیین سهم ذرات سیستم توزیع گاز و اجزای آن با آزمایش ضربه).
یکی از مهمترین ملاحظات در طراحی سیستم توزیع گاز، میزان خلوص گاز مورد نیاز در هر نقطه استفاده است. حفظ خلوص گاز توسط یک سیستم متمرکز ساده شده است. انتخاب متریال برای نصب باید در کل ثابت باشد. به عنوان مثال، اگر از یک گاز با درجه تحقیقاتی استفاده می شود، باید از تمام ساختمان های فولادی ضد زنگ و شیرهای قطع کننده بدون دیافراگم برای جلوگیری از آلودگی جریان گاز استفاده شود. به طور کلی، سه سطح خلوص برای توصیف تقریباً هر کاربرد وجود دارد: خلوص همه منظوره، خلوص بالا و خلوص فوق العاده بالا.
استانداردهای SEMI و شیوه‌های امنیتی ادعا نمی‌کنند که تمام مسائل امنیتی را برای استفاده از آنها بررسی می‌کنند. این مسئولیت استفاده کنندگان از استانداردها است که اقدامات ایمنی و بهداشتی مناسب را ایجاد کنند و اعمال محدودیت های استفاده را تعیین کنند.
به طور خلاصه، هدف استاندارد SEMI F70 ارائه روشی برای اندازه گیری عملکرد افزودنی ذرات یک سیستم توزیع گاز بر حسب تعداد ذرات اضافه شده به گاز جریان یافته در سیستم است.
هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
در میان آزمایش‌ها، اندازه‌گیری‌ها، تحلیل‌ها و ارزیابی‌های متعددی که برای کسب‌وکارها در بخش‌های مختلف ارائه می‌کند، سازمان ما همچنین خدمات آزمایشی را برای تعیین سهم ذرات سیستم توزیع گاز در محدوده استاندارد SEMI F70 با آموزش‌دیده و کارکنان متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته.
برای دریافت قرار ملاقات، برای دریافت اطلاعات دقیق تر و یا درخواست ارزیابی، می توانید از ما بخواهید فرم ما را پر کند و به شما برسد.
