روش تست SEMI F112 برای تعیین خواص خشک کردن رطوبت سیستم های توزیع گاز روی سطح و معمولی با استفاده از طیف سنجی حلقه حفره ای (CRDS)

استاندارد SEMI F112 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، بر تعیین ویژگی های خشک کردن رطوبت (یعنی میزان رطوبت قابل استخراج) سطح پایه سیستم های توزیع گاز یکپارچه و گاز معمولی تمرکز دارد. سیستم های توزیع با استفاده از تحلیلگرهای طیف سنجی حلقه فضایی (CRDS) یک روش تست برای آن تعریف شده است

از نتایج این روش آزمایشی برای رتبه بندی کیفی سیستم توزیع گاز بر اساس طراحی استفاده می شود. همچنین می تواند توسط کاربر با دانش کافی به عنوان ورودی برای شبیه سازی عددی رفتار یک سیستم توزیع گاز استفاده شود.

هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:

• روش تست برای استانداردهای رطوبت SEMI C15 ppm و ppb
• مشخصات یکپارچگی نشت SEMI F1 سیستم‌ها و اجزای لوله‌کشی گاز با خلوص بالا

طیف‌سنجی حلقه‌ای فضایی (CRDS) یک تکنیک شناخته شده و مورد استفاده برای نظارت بر رطوبت در گازهای فرآیند با خلوص بالا در صنایع تولید نیمه‌رسانا و LED و همچنین در تولید، حمل و نقل و توزیع گازهای صنعتی و شیمیایی است. مزایای این روش دقیق و مقرون به صرفه نظارت بر رطوبت، توجه صادرکنندگان استاندارد صنعتی مانند SEMI را به خود جلب کرده است.

روش تست ارائه شده در استاندارد SEMI F112 به کاربران این امکان را می دهد که سیستم های توزیع گاز را با توجه به طراحی خود به صورت کیفی ارزیابی و رتبه بندی کنند. این استاندارد حوزه های کاربردی اصلی زیر را پوشش می دهد:

• سیستم های توزیع گاز سطحی
• سیستم های توزیع گاز معمولی
• صلاحیت سیستم های لوله کشی جدید
• صلاحیت طرح های جدید توزیع گاز

به طور کلی، استانداردهای SEMI توافق نامه های فنی داوطلبانه بین تامین کنندگان و مشتریان با هدف بهبود کیفیت و قابلیت اطمینان محصول از طریق عرضه پایدار است. این استانداردها سازگاری جهانی محصولات را برای رویارویی با چالش های افزایش بهره وری و در عین حال فراهم کردن فرصت های تجاری در سراسر جهان تضمین می کند.

سازمان ما در میان مطالعات متعدد تست، اندازه گیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی که برای مشاغل در بخش های مختلف انجام داده است، با کادر آموزش دیده و متخصص و تجهیزات فناورانه پیشرفته، در محدوده استاندارد SEMI F112، خواص خشک کردن رطوبتی سطوح نصب شده و ... سیستم های توزیع گاز معمولی با طیف سنجی حلقه فضایی (CRDS) همچنین خدمات آزمایشی را برای تعیین