استاندارد SEMI F80 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) که شامل فعالیت هایی به نفع صنایعی مانند نیمه هادی ها، مدارهای مجتمع، ترانزیستورها، دیودها و صفحه نمایش صفحه تخت در سراسر جهان است، توسعه یافته است. توسط کمیته فنی جهانی گازها یک استاندارد است. این استاندارد یک روش آزمایشی را برای تعیین راندمان تبادل گاز / تمیز کردن سیستم توزیع گاز توصیف می کند. این استاندارد هم سیستم های آب بندی فلزی معمولی و هم سیستم های توزیع گاز روی سطح را پوشش می دهد. این روش تست برای تمام سیستم های توزیع گاز با خلوص بالا که در کارخانه های تولید نیمه هادی ها و مناطق تحقیق و توسعه قابل مقایسه استفاده می شوند، مناسب است.
حذف هوای محیط از تمام قسمت‌های یک سیستم لوله‌کشی گاز با خلوص بالا قبل از معرفی گاز فرآیندی مهم است. این به دو دلیل ضروری است:
لازم است قبل از قرار گرفتن در معرض هوای محیط، گاز فرآیند را از هر قسمت از سیستم لوله کشی خارج کنید. دلایل این امر را می توان به شرح زیر برشمرد:
در میان آزمایش‌ها، اندازه‌گیری‌ها، تحلیل‌ها و ارزیابی‌های متعددی که سازمان ما برای کسب‌وکارها در بخش‌های مختلف ارائه می‌دهد، ما همچنین خدمات آزمایشی را برای تعیین راندمان تبادل/تخلیه گاز سیستم‌های توزیع گاز در محدوده استاندارد SEMI F80 ارائه می‌دهیم که این امر به لطف کارکنان آموزش‌دیده و متخصص و تجهیزات پیشرفته فناوری ما میسر شده است.
برای دریافت قرار ملاقات، برای دریافت اطلاعات دقیق تر و یا درخواست ارزیابی، می توانید از ما بخواهید فرم ما را پر کند و به شما برسد.
