
استاندارد SEMI F115 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بینالمللی به نام برنامه بینالمللی تجهیزات و مواد نیمههادی (SEMI) تدوین شده است، شامل فعالیتهایی است که به صنایعی مانند نیمههادیها، مدارهای مجتمع، ترانزیستورها، دیودها و نمایشگرهای صفحه تخت در سراسر جهان سود میرساند و یک روش آزمایشی برای شناسایی عناصر فلزی موجود در سطوح مرطوب سیستمها و اجزای تحویل شیمیایی با خلوص فوق العاده بالا (UHP) تعریف میکند.

این روش تست برای سیستم ها و اجزای تحویل شیمیایی با خلوص فوق العاده بالا قابل استفاده است. نمونههایی از آزمایشها شامل شیرها، تنظیمکنندهها، فیلترها، کنترلکنندههای جریان جرمی، لولهکشی، مجموعههای جوشکاری و مجموعههای آببندی صورت میباشد. این روش تست همچنین می تواند برای تشخیص آلودگی از محل مونتاژ یا تولید استفاده شود.
استاندارد فوق، روش استخراج و اندازه گیری عناصر فلزی قابل جابجایی با آب فوق خالص را بر روی سطوح مرطوب توضیح می دهد. این روش تست همچنین می تواند برای ارزیابی اثربخشی فرآیندهای مختلف شستشو یا تمیز کردن استفاده شود.
گازهای با خلوص فوق العاده بالا به طور گسترده در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. خلوص فوق العاده بالا معمولاً به عنوان غلظت کمتر از ppb 100 برای هر مولکول فرار مانند سطح ناخالصی یا رطوبت تعریف می شود.
هنگام تهیه این استاندارد، استانداردهای SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
شرکت ما در میان مطالعات متعدد تست، اندازه گیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی که برای مشاغل در بخش های مختلف انجام می دهد، با کادری آموزش دیده و متخصص و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته، خدمات تست برای تعیین عناصر فلزی بر روی سطوح مرطوب با خلوص فوق العاده بالا را ارائه می دهد. سیستم های توزیع مواد شیمیایی و قطعات در محدوده استاندارد SEMI F115 نیز می دهد.
