روش تست SEMI F73 برای ارزیابی وضعیت سطح مرطوب اجزای فولاد ضد زنگ با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

استاندارد SEMI F73 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بین المللی به نام تجهیزات و مواد نیمه هادی بین المللی (SEMI) توسعه یافته است، یک روش آزمایش یکنواخت را برای آزمایش سطوح مرطوب اجزای فولاد ضد زنگ که برای مونتاژ در سیستم های توزیع گاز با خلوص بالا در نظر گرفته شده است، تعریف می کند. این روش آزمایشی وقوع، فراوانی و در برخی موارد هویت عیوب سطح میکروسکوپی و آلاینده‌های مشاهده شده بر روی سطوح مرطوب را مشخص می‌کند.

ارتباط مستقیمی بین نتایج این روش آزمایش و آلودگی گازهای فرآیند یا بازده محصول در فرآیندهای ارائه شده توسط سیستم‌های توزیع گاز با خلوص بالا وجود دارد. استفاده از این روش آزمایشی برای به دست آوردن نتایج قابل مقایسه و تکرارپذیر در بین کاربران مختلف این روش به منظور تعیین صلاحیت اجزاء در نظر گرفته شده است.

هدف از روش تست شرح داده شده در این استاندارد، تعریف مجموعه ای کلی از پارامترها و شرایط ابزاری است که اندازه گیری های دقیق و قابل تکرار پارامترهای مهم وضعیت سطح را به دست می دهد.

این روش تست برای سطوح مرطوب روی لوله های فولادی ضد زنگ، اتصالات، شیرها و سایر اجزاء برای تعیین اثربخشی عملیات تکمیل و تمیز کردن سطح قابل استفاده است. این روش برای شناسایی عیوب سطحی از جمله گودال ها، آخال ها، خراش ها، علائم فرآیند باقیمانده، مرز دانه ها و آلودگی روی سطوح خیس به کار می رود. با این حال، هر گونه آسیب سطحی که در طول آماده سازی نمونه ایجاد شود باید از این ارزیابی حذف شود.

میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) یک میکروسکوپ الکترونی است که از یک پرتو متمرکز از الکترون ها برای اسکن و تصویربرداری از سطح نمونه استفاده می کند. الکترون‌ها با اتم‌های موجود در نمونه تعامل دارند و سیگنال‌های متفاوتی حاوی اطلاعاتی درباره ترکیب روی سطح نمونه تولید می‌کنند. دستگاه های اسکن استاندارد برای بازرسی سطوح خشک و رسانا در خلاء بالا مناسب هستند. با این حال، دستگاه های اسکن نیز وجود دارند که در خلاء کم، شرایط مرطوب و شرایط از دمای بسیار پایین تا بالا کار می کنند.

در میان آزمایش‌ها، اندازه‌گیری‌ها، تحلیل‌ها و ارزیابی‌های متعددی که سازمان ما برای کسب‌وکارها در بخش‌های مختلف ارائه می‌دهد، ما به لطف کارکنان آموزش‌دیده و متخصص و تجهیزات پیشرفته فناوری، خدمات آزمایشی برای ارزیابی وضعیت سطح مرطوب اجزای فولاد ضد زنگ با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) در محدوده استاندارد SEMI F73 نیز ارائه می‌دهیم.