
استاندارد SEMI F111 که در چارچوب یک برنامه استاندارد بینالمللی به نام «تجهیزات و مواد نیمههادی بینالمللی» (SEMI) تدوین شده است، شامل فعالیتهایی است که به صنایعی مانند نیمههادیها، مدارهای مجتمع، ترانزیستورها، دیودها و نمایشگرهای صفحه تخت در سراسر جهان سود میرساند و یک روش آزمایشی برای اندازهگیری قابلیت حذف ذرات واحدهای فیلتر فن تجهیزات (EFFU) نصب شده در داخل تجهیزات تعریف میکند.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg)
از آنجایی که یک فیلتر ذرات فن، مجموعه فن و موتور در داخل تجهیزات نصب شده است، یکپارچگی این قطعات برای عملکرد واحد فیلتر فن تجهیزات بسیار مهم است. بنابراین، یک روش آزمایش حذف ذرات معمولی برای فیلترهای ذرات برای ارزیابی عملکرد حذف ذرات واحد فیلتر فن تجهیزات مناسب است.
روش تست شرح داده شده در این استاندارد، یک روش ارزیابی را برای یک واحد فیلتر فن تجهیزات نصب شده در یک فضای محدود برای حذف ذرات تولید شده در تجهیزات فرآیند توصیف می کند. عملکرد حذف ذرات واحدهای فیلتر فن تجهیزات به طور کلی به عملکرد رسانه فیلتر و سرعت جریان هوا بستگی دارد. برای درک عملکرد یک واحد فیلتر فن تجهیزات، لازم است به طور همزمان مشخصات رسانه فیلتر، سرعت جریان هوا و یکپارچگی قطعات واحد فیلتر فن تجهیزات را در نظر بگیرید. به طور خلاصه، این روش آزمایشی با هدف نشان دادن عملکرد سیستم واحد فیلتر فن تجهیزات است.
واحد فیلتر فن تجهیزات نوعی تجهیزات موتوری فیلتر هوا است. برای حذف ذرات مضر موجود در هوا از هوای محیط و تامین هوای تصفیه شده به اتاق های تمیز، آزمایشگاه ها، امکانات پزشکی یا محیط های کوچک استفاده می شود. این واحدها معمولاً دارای فیلتر مخصوص خود، فیلتر HEPA و توزیع هوای فن با کنترل داخلی هستند. واحدهای فیلتر فن تجهیزات، راه حل های انعطاف پذیر و اقتصادی برای حذف ذرات از تجهیزات تهویه یک طرفه هستند.
هنگام تهیه این استاندارد، استاندارد SEMI زیر به عنوان مرجع در نظر گرفته شد:
در میان مطالعات تست، اندازهگیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی متعددی که برای کسبوکارها در بخشهای مختلف انجام میدهد، سازمان ما همچنین خدمات تست پاکسازی ذرات واحد فیلتر فن تجهیزات (EFFU) را در محدوده استاندارد SEMI F111 با کادر آموزش دیده و متخصص ارائه میدهد. و تجهیزات تکنولوژیکی پیشرفته
