SEMI F101 Метод испытаний для определения характеристик регулятора давления в газораспределительных системах

SEMI F101 Метод испытаний для определения характеристик регулятора давления в газораспределительных системах

Стандарт SEMI F101, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), определяет метод испытаний регуляторов давления, предназначенных для установки в газовых системах. Ожидается, что применение этого метода тестирования предоставит сопоставимые данные между регулирующими органами, испытанными в целях квалификации. Этот стандарт предоставляет метод испытаний для определения рабочих характеристик регулятора.

SEMI F101 Метод испытаний для определения характеристик регулятора давления в газораспределительных системах

Этот метод испытаний применим к регуляторам давления. Методы испытаний, измеряющие эти свойства, следует выполнять в следующем порядке:

  • Номер частицы
  • утечка
  • ползучесть / падение
  • Влияние давления подачи
  • разрешение
  • Кривая расхода, кривая гистерезиса и давление в зависимости от значения рабочего гистерезиса
  • стабильность
  • Регулировка стабильности давления
  • переходная характеристика ступенчатой ​​функции
  • резонанс
  • коэффициент расхода
  • Избыточное давление
  • прочность

Короче говоря, этот метод тестирования обеспечивает общую основу для общения между производителями и пользователями.

Производители проектируют свои газораспределительные системы на основе передового опыта и создают множество конфигураций в соответствии с потребностями. Соответствующие стандартам и конфигурируемые системы газораспределения предназначены для защиты операторов систем, увеличения времени безотказной работы и повышения точности и повторяемости процессов. Безопасность и функциональность - самые важные факторы в этом процессе. Системы включают в себя один или набор регуляторов давления для эффективной подачи газов от источника высокого давления к остальной части объекта при давлении и скорости потока, необходимых для каждого приложения. На этом этапе важно определить характеристики регулятора давления. Для коммерческих и промышленных пользователей важно стабильное давление, чтобы не нарушать работу.

При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:

  • SEMI F1 Спецификация герметичности трубопроводных систем и компонентов для газа высокой чистоты
  • SEMI F32 Метод испытаний для определения коэффициента расхода в запорных клапанах высокой чистоты

В числе многочисленных испытаний, измерений, анализов и оценок, которые наша организация предоставляет предприятиям в различных секторах, мы также предлагаем услуги по тестированию для определения работоспособности регуляторов давления в газораспределительных системах в рамках стандарта SEMI F101, благодаря нашему квалифицированному и опытному персоналу и современному технологическому оборудованию.

WhatsApp