SEMI F114 Метод испытаний для определения органических загрязнителей на влажных поверхностях систем и компонентов для доставки химикатов сверхвысокой чистоты

Стандарт SEMI F114, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), определяет метод испытаний для определения органических соединений на влажных поверхностях систем и компонентов для доставки химикатов сверхвысокой чистоты (UHP).

Этот метод испытаний применим к системам и компонентам доставки химикатов сверхвысокой чистоты. Примеры испытаний включают клапаны, регуляторы, фильтры и регуляторы массового расхода, трубопроводы, приварные фитинги и фитинги с торцевым уплотнением. Описанный метод испытаний также используется для обнаружения загрязнения на сборочной или производственной площадке. В этом методе испытаний подробно описан метод удаления и измерения органических загрязнителей, обнаруженных на влажных поверхностях.

Вкратце, этот метод испытаний также можно использовать для оценки эффективности различных процессов стирки или очистки.

При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:

• SEMI E49.8 Руководство по системам распределения газа высокой и сверхвысокой чистоты в оборудовании для производства полупроводников
• SEMI F20 Спецификация для стержней из нержавеющей стали 316L, поковок, экструдированных профилей, пластин и трубок для компонентов, используемых для производства полупроводников общего назначения, высокой и сверхвысокой чистоты

Органические загрязнители определяются как химические вещества на основе углерода, такие как органические растворители, пестициды, отходы нефтяной промышленности, древесина и летучие соединения в газообразном или жидком состоянии. Органические загрязнители, как правило, оказывают негативное воздействие на окружающую среду. Следовые количества остатков органических загрязнителей, обнаруженные в почве, воде, воздухе, а иногда и в пище, считаются вредными для здоровья человека и окружающей среды. Органические загрязнители в газообразном или жидком состоянии могут включать растворители, химические прекурсоры и промежуточные продукты, а также летучие органические соединения (ЛОС) в виде нефтяных соединений.

Наша организация предоставляет услуги по тестированию для определения органических загрязнителей на влажных поверхностях систем распределения химикатов сверхвысокой чистоты и компонентов в рамках стандарта SEMI F114, с ее обученным и опытным персоналом и передовым технологическим оборудованием, среди многочисленных тестов, измерений. , аналитические и оценочные исследования, которые он предоставляет для предприятий в различных секторах.