Стандарт SEMI F111, разработанный в рамках международной программы стандартизации Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), которая включает в себя мероприятия, приносящие пользу таким отраслям, как полупроводники, интегральные схемы, транзисторы, диоды и плоские дисплеи по всему миру, определяет метод испытаний для измерения способности фильтрующих блоков вентиляторов оборудования (EFFU), устанавливаемых внутри оборудования, удалять частицы.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "SEMI F111 Equipment Fan Filter Unit (EFFU) Метод испытания на удаление твердых частиц")
Поскольку внутри оборудования установлен сажевый фильтр, вентилятор и двигатель в сборе, целостность этих деталей очень важна для работы блока фильтра вентилятора оборудования. Следовательно, обычный метод испытаний на удаление твердых частиц для фильтров твердых частиц подходит для оценки эффективности удаления твердых частиц фильтрующим блоком вентилятора оборудования.
Метод испытаний, описанный в этом стандарте, описывает метод оценки блока фильтра вентилятора оборудования, установленного в замкнутом пространстве, для удаления частиц, образующихся внутри технологического оборудования. Эффективность удаления твердых частиц фильтрующими блоками вентилятора оборудования обычно зависит от характеристик фильтрующего материала и скорости воздушного потока. Чтобы понять производительность блока фильтра вентилятора оборудования, необходимо одновременно учитывать характеристики фильтрующего материала, скорость воздушного потока и целостность частей блока фильтра вентилятора оборудования. Вкратце, этот метод тестирования направлен на демонстрацию системных характеристик блока фильтра вентилятора оборудования.
Блок фильтровентиляторов оборудования представляет собой разновидность моторизованного оборудования для фильтрации воздуха. Он используется для удаления вредных частиц, переносимых по воздуху, из окружающего воздуха и для подачи очищенного воздуха в чистые помещения, лаборатории, медицинские учреждения или микросреды. Эти агрегаты обычно содержат собственный фильтр, HEPA-фильтр и внутреннее управление распределением воздуха от вентилятора. Блоки фильтров для вентиляторов для оборудования представляют собой гибкие и экономичные решения для удаления твердых частиц из оборудования с односторонней вентиляцией.
При подготовке этого стандарта в качестве справочного материала был взят следующий стандарт SEMI:
Среди многочисленных испытаний, измерений, анализа и оценочных исследований, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, наша организация также предоставляет услуги по тестированию для очистки от частиц блока фильтров вентилятора оборудования (EFFU) в рамках стандарта SEMI F111 с ее обученным и опытным персоналом. и современное технологическое оборудование.
Вы можете попросить нас заполнить нашу форму, чтобы записаться на прием, получить более подробную информацию или запросить оценку.
