Стандарт SEMI F76, разработанный в рамках международной программы стандартизации Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , определяет метод испытаний для сравнения компонентов газоперерабатывающих установок на предмет потенциального образования частиц в коррозионных газах. Этот стандарт разработан как практический способ получения данных о производительности группы компонентов, сравниваемых в процессе выбора. Описанный метод испытаний применим к клапанам, фильтрам частиц и регуляторам низкого давления.
Стандарты SEMI предоставляют производителям рекомендации по химическим процессам и материалам, используемым при производстве полупроводниковых чипов и других связанных устройств. Благодаря этим стандартам компании могут выйти на международные рынки, минимизировать риски проектирования и повысить свою производительность.
Для полупроводниковой промышленности высокая чистота, химическая стойкость, плотность и точность являются важными инструментами для разработки продуктов и производственных процессов. Полупроводниковые материалы - это материалы, которые приобретают проводящие свойства под действием приложенной к ним механической работы. Эти материалы, которые в нормальных условиях являются изоляторами, выделяют часть своих электронов и становятся проводящими при приложении внешних воздействий, таких как тепло, свет, магнитный эффект или электрическое напряжение. Когда этот внешний эффект устранен, эти вещества снова возвращаются в изолирующее состояние. Благодаря этим свойствам полупроводники широко используются в области электроники.
Стандарты SEMI также относятся к источникам хранимого / сжатого газа и системам распределения. Это также обычно относится к высокотоксичным добавочным газам во время стадий высокотемпературной диффузии.
При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:
Наша организация, среди множества исследований, испытаний, измерений, анализа и оценки, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, также предоставляет услуги по тестированию для оценки вклада частиц из компонентов газовой системы, подверженных воздействию агрессивного газа в рамках стандарта SEMI F76, с его обученный и опытный персонал и современное технологическое оборудование.
Вы можете попросить нас заполнить нашу форму, чтобы записаться на прием, получить более подробную информацию или запросить оценку.
