Метод испытаний для определения эффективности газообмена / сброса газораспределительной системы SEMI F80

Стандарт SEMI F80, разработанный в рамках международной программы стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), которая включает в себя деятельность в интересах таких отраслей, как полупроводники, интегральные схемы, транзисторы, диоды и плоские дисплеи, во всем мире, стандарт SEMI FXNUMX технически одобрен Глобальным техническим комитетом по газам является стандартом. Этот стандарт описывает метод испытаний для определения эффективности газообмена / очистки газораспределительной системы. Этот стандарт распространяется как на обычные металлические торцевые уплотнения, так и на системы газораспределения, устанавливаемые на поверхность. Этот метод испытаний подходит для всех систем газораспределения высокой чистоты, используемых на заводах по производству полупроводников, а также в сопоставимых областях исследований и разработок.

Перед подачей технологического газа важно удалить окружающий воздух из всех частей системы трубопроводов для газа высокой чистоты. Это необходимо по двум причинам:

• Оставшийся воздух снижает чистоту технологического газа. Это относится к любому технологическому газу, опасному или нет.
• Воздух содержит кислород и водяной пар, некоторые особые газы вступают в реакцию с кислородом, и образующиеся продукты реакции могут вызвать загрязнение технологического процесса и отказ компонентов коллектора. Другие газы образуют высококоррозионные продукты при контакте с водяным паром и повреждают систему трубопроводов. Коррозия оборудования также является причиной загрязнения.

Перед воздействием окружающего воздуха необходимо удалить технологический газ из любой части системы трубопроводов. Причины этого можно перечислить следующим образом:

• Многие специальные газы очень токсичны и представляют серьезную опасность для здоровья рабочих.
• Некоторые газы легко воспламеняются или даже самовоспламеняются и представляют опасность пожара или взрыва.
• С другой стороны, некоторые газы становятся очень агрессивными при контакте с водяным паром в воздухе и вызывают повреждение оборудования и сооружений.

В числе многочисленных испытаний, измерений, анализов и оценок, которые наша организация предоставляет предприятиям в различных секторах, мы также предлагаем услуги по тестированию для определения эффективности газообмена/отвода газораспределительных систем в рамках стандарта SEMI F80, благодаря нашему квалифицированному и опытному персоналу и современному технологическому оборудованию.