
Стандарт SEMI F112, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), направлен на определение характеристик осушения влаги (т. Е. Количества извлекаемой влаги) для поверхностного монтажа интегрированных систем газораспределения и обычного газа. распределительных систем с использованием анализаторов космической кольцевой спектроскопии (CRDS). Определен метод испытаний для
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg)
Результаты этого метода испытаний используются для качественного ранжирования газораспределительной системы на основе проекта. Он также может использоваться пользователем с достаточными знаниями в качестве входных данных для численного моделирования поведения газораспределительной системы.
При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:
Спектроскопия с пространственным кольцом (CRDS) - хорошо известный и используемый метод для мониторинга влажности технологических газов высокой чистоты в промышленности по производству полупроводников и светодиодов, а также в промышленном газовом и химическом производстве, транспортировке и распределении. Преимущества этого точного и экономичного метода контроля влажности привлекают внимание таких издателей отраслевых стандартов, как SEMI.
Метод испытаний, представленный в стандарте SEMI F112, позволяет пользователям качественно оценивать и ранжировать газораспределительные системы в соответствии с их конструкцией. Этот стандарт охватывает следующие основные области применения:
В целом стандарты SEMI - это добровольные технические соглашения между поставщиками и потребителями, направленные на повышение качества и надежности продукции за счет стабильных поставок. Эти стандарты обеспечивают глобальную совместимость продуктов для решения задач повышения производительности при одновременном предоставлении возможностей для ведения бизнеса во всем мире.
Наша организация, среди многочисленных исследований, испытаний, измерений, анализа и оценки, которые она провела для предприятий в различных секторах, с ее обученным и опытным персоналом и передовым технологическим оборудованием в рамках стандарта SEMI F112, влагосушающие свойства поверхностного монтажа и традиционные газораспределительные системы с космической кольцевой спектроскопией (CRDS). Он также предоставляет услуги тестирования для определения
