Метод испытаний для определения герметичности газораспределительных систем с помощью гелиевого детектора утечки SEMI F106

Стандарт SEMI F106, разработанный в рамках международной программы стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), которая включает в себя деятельность в интересах таких отраслей, как полупроводники, интегральные схемы, транзисторы, диоды и плоские дисплеи, во всем мире, стандарт SEMI FXNUMX технически одобрен. Глобальным техническим комитетом по газам. Этот стандарт описывает метод испытаний для обнаружения внутренних утечек гелия в газораспределительных системах. Этот стандарт распространяется как на обычные металлические торцевые уплотнения, так и на системы газораспределения, устанавливаемые на поверхность.

Представленный метод испытаний применим ко всем типам систем газораспределения высокой чистоты, используемых на заводах по производству полупроводников, а также в сопоставимых областях исследований и разработок.

Испытание на утечку гелия применяется для обнаружения возможных утечек в различных типах закрытых или герметичных систем, в которых гелий используется в качестве индикаторного газа. С помощью этого испытания измеряется концентрация утечки (утечки) и определяется как скорость утечки.

Основными ключевыми качествами газообразного гелия, которые делают его идеальным для испытаний на герметичность, являются:

• Газообразный гелий - одна из самых маленьких молекул, которая позволяет ему быстро и надежно пересекать пути.
• Газообразный гелий является инертным газом, не взаимодействует с тестируемыми компонентами и поэтому безопасен в использовании.
• Шум устройства от гелия по своей природе низкий из-за его ограниченной доступности в атмосфере (менее 5 частей на миллион) и, следовательно, дает чрезвычайно точные отчеты.

Короче говоря, методы испытаний на основе гелия - это высокочувствительная технология испытаний на герметичность, позволяющая обнаруживать очень небольшие утечки, которые невозможны при использовании других методов проверки на герметичность. Во время этого теста используется техника высокого вакуума. Предусмотрены очень низкие пороги проверки на герметичность, уровень чувствительности, который позволяет проводить беспрецедентные сравнения компонентов корпуса.

Наша организация, среди многочисленных исследований, испытаний, измерений, анализа и оценки, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, также предоставляет услуги по тестированию для определения герметичности газораспределительных систем с гелиевым течеискателем в рамках стандарта SEMI F106, с его обученный и опытный персонал и современное технологическое оборудование.