Стандарт SEMI F70, разработанный в рамках международной программы стандартов под названием «Международное полупроводниковое оборудование и материалы» (SEMI), является технически одобренным стандартом Глобальным техническим комитетом по газам. Целью настоящего стандарта является предоставление стандартной методологии и метода испытаний для измерения характеристик присадки в виде твердых частиц в газораспределительной системе с точки зрения количества частиц, добавленных в газ, протекающий через систему. Эта стандартизированная процедура предназначена для широкого использования поставщиками газораспределительных систем, поставщиками оборудования и конечными пользователями.
Этот метод испытаний применяется к обычным поверхностным газораспределительным системам, используемым в оборудовании для производства полупроводников. Во время испытаний принимается во внимание стандарт SEMI F70.1-0320, прилагаемый к этому стандарту (метод испытаний для определения доли твердых частиц в газораспределительной системе и ее компонентах путем испытаний на удар).
Одним из наиболее важных факторов при проектировании газораспределительной системы является уровень чистоты газа, необходимый в каждой точке использования. Поддержание чистоты газа упрощается централизованной системой. Выбор материалов для установки должен быть единообразным во всем. Например, если используется газ исследовательского качества, следует использовать всю конструкцию из нержавеющей стали и запорные клапаны без диафрагмы, чтобы предотвратить загрязнение газового потока. В общем, существует три уровня чистоты для описания практически любого применения: универсальная чистота, высокая чистота и сверхвысокая чистота.
Стандарты и методы обеспечения безопасности SEMI не претендуют на то, чтобы решить все проблемы безопасности при их использовании. Пользователи стандартов несут ответственность за установление соответствующих правил техники безопасности и гигиены труда, а также за определение применимости ограничений на использование.
Короче говоря, цель стандарта SEMI F70 состоит в том, чтобы предоставить метод измерения характеристик добавки твердых частиц в газораспределительной системе с точки зрения количества частиц, добавленных к газу, протекающему через систему.
При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:
Среди многочисленных исследований, испытаний, измерений, анализа и оценки, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, наша организация также предоставляет услуги по тестированию для определения доли частиц в газораспределительной системе в рамках стандарта SEMI F70 с ее обученными и высококвалифицированный персонал и современное технологическое оборудование.
Вы можете попросить нас заполнить нашу форму, чтобы записаться на прием, получить более подробную информацию или запросить оценку.
