Стандарт SEMI F77, разработанный в рамках международной программы стандартизации «Международная программа полупроводникового оборудования и материалов» (SEMI), которая включает мероприятия, приносящие пользу таким отраслям, как полупроводники, интегральные схемы, транзисторы, диоды и плоские дисплеи по всему миру, определяет метод испытания для определения относительной стойкости к точечной коррозии смачиваемых поверхностей компонентов, предназначенных для использования в системах подачи агрессивных газов при производстве полупроводников. Этот метод испытания является адаптацией стандарта ASTM G150, опубликованного Американским обществом по испытанию материалов (ASTM) (ASTM G150-18 Стандартный метод испытания для электрохимического определения критической температуры точечной коррозии нержавеющих сталей и связанных с ними сплавов). Цель этого стандарта — различить составы сплавов или процессы, которые влияют на коррозионные свойства смачиваемых поверхностей. Подробности стандарта SEMI F77 содержатся в стандарте ASTM G150, и рекомендуется обращаться к стандарту ASTM G150 для применения этого метода испытания.
Метод испытаний, описанный в стандарте SEMI F77, включает электрохимическую процедуру на основе критической температуры точечной коррозии, используемую для ранжирования стойкости к точечной коррозии испытательных образцов смачиваемых поверхностей труб или типичных готовых поверхностей, предназначенных для использования в системах с коррозионными газами. Известно, что точечная коррозия является важным фактором коррозионного разрушения в системах распределения полупроводникового газа, особенно в компонентах и трубах, сваренных и подверженных воздействию коррозионных газов и влаги.
Вкратце, стандартный метод испытаний SEMI F77 представляет собой адаптацию стандартного метода испытаний ASTM G150 и описывает метод испытаний для выполнения адаптации на купонах или участках влажной поверхности, вырезанных из компонентов системы подачи газа, таких как баллоны. Это метод мокрого погружения.
При подготовке этого стандарта в качестве справочного материала был взят следующий стандарт SEMI:
Среди многочисленных испытаний, измерений, анализа и оценочных исследований, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, наша организация также предоставляет услуги по тестированию для определения электрохимической критической температуры точечной коррозии поверхностей из нержавеющей стали, используемых в системах с коррозионными газами в рамках стандарта SEMI F77, с его обученный и опытный персонал и современное технологическое оборудование.
Вы можете попросить нас заполнить нашу форму, чтобы записаться на прием, получить более подробную информацию или запросить оценку.
