Стандарт SEMI F69, разработанный в рамках международной программы стандартов под названием «Международное полупроводниковое оборудование и материалы» (SEMI), является технически одобренным стандартом Глобальным техническим комитетом по газам. В этом стандарте представлены методы испытаний, которые следует применять для определения механической целостности газораспределительных систем посредством испытаний на вибрацию и удар. Рекомендуемые здесь методы испытаний включают испытания на вибрацию (моделирование транспортировки) и ударные испытания газораспределительных систем (включая обычные и поверхностные) для обработки полупроводников.
Методы испытаний, определенные в стандарте SEMI F69, применяются к газораспределительным системам, которые не упакованы для транспортировки. В частности, методы испытаний применяются к собранным и соединенным между собой компонентам газораспределения и связанной с ними монтажной панели, с экраном из листового металла или без него.
Для целей настоящего стандарта ожидается, что транспортная вибрация и имитация будут выше обычных при используемых уровнях вибрации. Таким образом, испытания с моделированием транспортировки считаются приемлемыми для оценки адекватной механической целостности как при транспортировке, так и при вибрационном напряжении в течение жизненного цикла газораспределительных систем.
Целью ударных испытаний является более подробная оценка отказов оборудования в результате ударов во время распаковки, установки или использования в полевых условиях.
Он представляет собой рекомендуемую механическую целостность для архитектуры, проектирования и методов сборки газораспределительных систем, если испытания, рекомендованные в этом стандарте, успешно завершены.
Когда газы используются в значительных объемах, централизованная система газораспределения является практической необходимостью. Хорошо спроектированная система распределения снижает эксплуатационные расходы, увеличивает производительность и безопасность. Центральная система позволяет объединить все баллоны в одном месте хранения. В этом приложении газы разделяются по типам для повышения безопасности.
При подготовке этого стандарта в качестве справочного материала был взят следующий стандарт SEMI:
Среди многочисленных испытаний, измерений, анализа и оценочных исследований, которые она предоставляет для предприятий в различных секторах, наша организация также предоставляет услуги по тестированию передачи и ударных испытаний газораспределительных систем в рамках стандарта SEMI F69, с ее обученным и опытным персоналом и современное технологическое оборудование.
Вы можете попросить нас заполнить нашу форму, чтобы записаться на прием, получить более подробную информацию или запросить оценку.
