
Стандарт SEMI F72, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), предназначен для описания метода испытаний для определения состава поверхности пассивированных компонентов из нержавеющей стали 316L, рассматриваемых для установки в газораспределительной системе высокой чистоты. . Этот метод испытаний предназначен для применения на влажных поверхностях труб, фитингов, клапанов и других компонентов из нержавеющей стали в качестве меры эффективности пассивации. Процесс пассивации - это процесс нейтрализации железа после использования кислоты для удаления ржавчины.
-icin-test-yontemi-pasiflestirilmis-316l-paslanmaz-celik-bilesenlerin-islak-yuzeylerinin-testleri.jpg)
Целью этого метода испытаний является определение общего набора параметров и условий прибора, которые позволят получить воспроизводимые измерения в пределах слоя пассивного оксида, обогащенного хромом. Этот метод испытаний был разработан для определения состава и толщины слоя оксида, обогащенного хромом, на поверхностях из нержавеющей стали и для обнаружения поверхностного загрязнения труб, фитингов, клапанов и других компонентов. Метод включает обнаружение и измерение элементного состава поверхности с помощью электронной оже-спектроскопии (AES). В этом методе испытаний также описан метод испытаний для глубинного профиля состава хрома, железа, никеля, кислорода и углерода, проходящего от поверхности, проходящей через оксидные слои, в основной металл. Это измерение дает информацию о толщине оксида и обогащении хромом во всей пассивированной области.
Используя оже-электронную спектроскопию (AES), образец бомбардируют электронами высокой энергии, и некоторые электроны удаляются из атомов мишени, и атомы ионизируются. Поскольку ионизированный атом нестабилен, электрон с внешней орбитали заполняет электронную вакансию на внутренней орбитали. Этот метод является очень мощным методом анализа изображений.
При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:
Наша организация, среди многочисленных исследований, посвященных испытаниям, измерениям, анализу и оценке, которые она провела для предприятий в различных секторах, с ее обученным и опытным персоналом и передовым технологическим оборудованием, метод испытаний для электронной спектроскопии Оже (AES) в рамках SEMI Стандарт F72 - это метод определения оксидов влажных поверхностей деталей из пассивированной нержавеющей стали 316L, а также услуги по тестированию для оценки слоя.
