SEMI F72 Метод испытаний Аугера для электронной спектроскопии (AES) Испытания влажных поверхностей пассивированных компонентов из нержавеющей стали 316L

SEMI F72 Метод испытаний Аугера для электронной спектроскопии (AES) Испытания влажных поверхностей пассивированных компонентов из нержавеющей стали 316L

Стандарт SEMI F72, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), предназначен для описания метода испытаний для определения состава поверхности пассивированных компонентов из нержавеющей стали 316L, рассматриваемых для установки в газораспределительной системе высокой чистоты. . Этот метод испытаний предназначен для применения на влажных поверхностях труб, фитингов, клапанов и других компонентов из нержавеющей стали в качестве меры эффективности пассивации. Процесс пассивации - это процесс нейтрализации железа после использования кислоты для удаления ржавчины.

SEMI F72 Метод испытаний Аугера для электронной спектроскопии (AES) Испытания влажных поверхностей пассивированных компонентов из нержавеющей стали 316L

Целью этого метода испытаний является определение общего набора параметров и условий прибора, которые позволят получить воспроизводимые измерения в пределах слоя пассивного оксида, обогащенного хромом. Этот метод испытаний был разработан для определения состава и толщины слоя оксида, обогащенного хромом, на поверхностях из нержавеющей стали и для обнаружения поверхностного загрязнения труб, фитингов, клапанов и других компонентов. Метод включает обнаружение и измерение элементного состава поверхности с помощью электронной оже-спектроскопии (AES). В этом методе испытаний также описан метод испытаний для глубинного профиля состава хрома, железа, никеля, кислорода и углерода, проходящего от поверхности, проходящей через оксидные слои, в основной металл. Это измерение дает информацию о толщине оксида и обогащении хромом во всей пассивированной области.

Используя оже-электронную спектроскопию (AES), образец бомбардируют электронами высокой энергии, и некоторые электроны удаляются из атомов мишени, и атомы ионизируются. Поскольку ионизированный атом нестабилен, электрон с внешней орбитали заполняет электронную вакансию на внутренней орбитали. Этот метод является очень мощным методом анализа изображений.

При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:

  • Спецификация для SEMI C57 Argon
  • Спецификация для SEMI C59 азота

Наша организация, среди многочисленных исследований, посвященных испытаниям, измерениям, анализу и оценке, которые она провела для предприятий в различных секторах, с ее обученным и опытным персоналом и передовым технологическим оборудованием, метод испытаний для электронной спектроскопии Оже (AES) в рамках SEMI Стандарт F72 - это метод определения оксидов влажных поверхностей деталей из пассивированной нержавеющей стали 316L, а также услуги по тестированию для оценки слоя.

WhatsApp