SEMI F104 Метод испытаний для оценки примеси твердых частиц в компонентах, используемых в системах доставки сверхчистой воды и жидких химикатов

Стандарт SEMI F104, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), описывает требования и представляет методы испытаний для оценки и сравнения компонентов в потоке сверхчистой воды с точки зрения доли частиц. Этот стандарт определяет два метода испытаний для оценки доли частиц: метод ополаскивания и метод динамического испытания.

• Метод испытания ополаскивания оценивает производительность в режиме стирки, когда компонент находится в статическом состоянии, то есть в тестируемом компоненте нет активно движущегося компонента. С помощью этого метода испытаний получают указание объема промывки, необходимого для приведения уровней частиц в норму.
• В методе динамических испытаний характеристики оцениваются во время работы компонента, и получается индикация вклада частиц в установившемся режиме из-за динамических рабочих условий.

Оба метода испытаний применяются к жидким химическим компонентам и компонентам систем сверхчистой воды, предназначенным для использования в инструментах и ​​вспомогательном оборудовании для производства полупроводников.

Методы испытаний, описанные в этом стандарте, представляют собой испытания для измерения доли твердых частиц в компонентах при использовании сверхчистой воды в качестве испытательной среды. Для целей настоящего стандарта сверхчистая вода должна соответствовать минимальным требованиям, изложенным в стандарте. При применении этих методов испытаний для измерения характеристик используется оптический прибор для измерения жидких частиц. Это устройство обычно используется в качестве счетчика частиц для обнаружения и контроля загрязнения твердыми частицами в определенных чистых средах, включая воздух, воду и химические вещества. Счетчики частиц используются в промышленных технологиях, таких как электронные компоненты и узлы, фармацевтические препараты и медицинские устройства, а также нефть и газ для поддержки более экологически чистых производств.

При подготовке этого стандарта в качестве справочных использовались следующие стандарты SEMI:

• SEMI E49 Руководство по характеристикам трубопроводов высокой и сверхвысокой чистоты для узлов и конечных узлов
• SEMI F57 Спецификация для полимерных компонентов, используемых в системах доставки сверхчистой воды и жидких химикатов

Среди многочисленных тестов, измерений, анализов и оценок, которые наша организация предоставляет предприятиям в различных секторах, мы также предлагаем услуги по тестированию содержания частиц в компонентах, используемых в системах дозирования сверхчистой воды и жидких химических веществ в соответствии со стандартом SEMI F104, используя квалифицированный и опытный персонал и современное технологическое оборудование.