SEMI F73 Метод испытаний для оценки состояния влажной поверхности компонентов из нержавеющей стали с помощью сканирующей электронной микроскопии (SEM)

Стандарт SEMI F73, разработанный в рамках программы международных стандартов под названием International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), определяет единый метод испытаний для испытания влажных поверхностей компонентов из нержавеющей стали, предназначенных для сборки в газораспределительных системах высокой чистоты. Этот метод испытаний характеризует возникновение, частоту и, в некоторых случаях, идентичность микроскопических поверхностных дефектов и загрязнений, наблюдаемых на влажных поверхностях.

Существует прямая корреляция между результатами этого метода испытаний и загрязнением технологических газов или выходами продуктов в процессах, обслуживаемых системами распределения газа высокой чистоты. Применение этого метода испытаний предназначено для получения сопоставимых и воспроизводимых результатов среди различных пользователей этого метода с целью аттестации компонентов.

Целью метода испытаний, описанного в этом стандарте, является определение общего набора инструментальных параметров и условий, которые позволят получить точные и повторяемые измерения важных параметров состояния поверхности.

Этот метод испытаний применим к влажным поверхностям труб, фитингов, клапанов и других компонентов из нержавеющей стали для определения эффективности обработки поверхности и очистки. Этот метод применяется для выявления поверхностных дефектов, включая ямки, включения, царапины, остаточные технологические следы, границы зерен и загрязнения на смоченных поверхностях. Однако любые повреждения поверхности, возникшие во время подготовки образца, должны быть исключены из этой оценки.

Сканирующий электронный микроскоп (SEM) - это электронный микроскоп, который использует сфокусированный пучок электронов для сканирования и изображения поверхности образца. Электроны взаимодействуют с атомами в образце и создают различные сигналы, содержащие информацию о составе на поверхности образца. Стандартные сканирующие устройства подходят для проверки сухих и проводящих поверхностей в высоком вакууме. Однако существуют также сканирующие устройства, которые работают в условиях низкого вакуума, влажности и условий в диапазоне от очень низких до высоких температур.

В числе многочисленных испытаний, измерений, анализов и оценок, которые наша организация предоставляет предприятиям в различных секторах, мы также предлагаем услуги по оценке состояния влажной поверхности компонентов из нержавеющей стали с использованием сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) в рамках стандарта SEMI F73, благодаря нашему квалифицированному и опытному персоналу и современному технологическому оборудованию.