
Стандарт SEMI F 64, разработанный в рамках международной программы стандартизации Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), которая включает в себя мероприятия, приносящие пользу таким отраслям, как полупроводники, интегральные схемы, транзисторы, диоды и плоские дисплеи по всему миру, определяет метод испытаний для определения характеристик регулятора массового расхода, предназначенного для установки в газораспределительной системе. Этот метод испытаний применяется для определения влияния переходных и установившихся условий давления на входе и выходе на характеристики регулятора массового расхода.

Этот метод испытаний обеспечивает общую основу для общения между производителями и пользователями относительно испытаний и объяснения влияния давления регулятора массового расхода.
С помощью этого метода испытаний определяется влияние переходного давления на входе (на входе) и на выходе (на выходе) на заданный и фактический расход. Этот метод испытаний дает результаты зависимости фактического расхода на выходе от заданного расхода и уставки регулятора массового расхода, на которую влияет установившееся давление на входе. Этот метод применяется к регуляторам массового расхода с максимальным диапазоном расхода до 1000 кубических сантиметров в минуту (стандартных кубических сантиметров в минуту).
Повышение давления вызывает сжатие газа. Газы имеют более высокую плотность и занимают меньший объем. Другими словами, если течет определенная масса газа, его объем меньше. Поскольку по той же трубе течет одна и та же масса газа, скорость сжатого газа уменьшается.
В газовых приложениях колебания давления газа могут влиять на скорость газа, тем самым существенно влияя на приборы для измерения расхода газа.
По сути, поток - это мера выхода воздуха в объеме в единицу времени. Скорость относится к тому, насколько быстро воздух движется в единицу времени. Давление - это мера силы, приложенной к площади.
Среди многочисленных испытаний, измерений, анализа и оценочных исследований, которые наша организация предоставляет для предприятий в различных секторах, с ее обученным и опытным персоналом и передовым технологическим оборудованием, услуги тестирования для определения влияния давления на фактический поток и показаны для массы устройства управления потоком в рамках стандарта SEMI F64.
