Méthode d'essai SEMI F113 pour les transducteurs de pression utilisés dans les systèmes de distribution de gaz

Dans la norme SEMI F113, développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats à travers le monde , il est utilisé dans les systèmes de distribution de gaz pour le traitement des semi-conducteurs. Une méthode d'essai pour les transducteurs de pression électroniques est décrite.

La méthode de test décrite sert à tester l'intégrité des fuites, le temps de préchauffage, la précision de la tension, l'inexactitude, la linéarité, la répétabilité, l'hystérésis, la reproductibilité, le coefficient thermique, la polarisation, le cycle de vie accéléré et la pression d'épreuve des transducteurs de pression avec la plage de pression complète de 2757.9 ou moins dans les réseaux de distribution de gaz comprend des procédures.

Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :

• Spécifications et directives pour l'azote SEMI C59
• Contrôleur de débit massique SEMI E27 et guide de linéarité du débitmètre massique
• Manuel de spécifications de pression pour le contrôleur de débit massique SEMI E28
• Guide des performances de tuyauterie SEMI E49 haute pureté et ultra haute pureté pour les sous-ensembles et les ensembles finaux
• SEMI E56 Méthode d'essai pour la détermination de la précision, de la linéarité, de la répétabilité, de la reproductibilité à court terme, de l'hystérésis et de la zone morte des régulateurs de débit massique thermique
• Manuel d'analyse du système de mesure (MSA) SEMI E89
• SEMI F1 Spécification d'intégrité des fuites des systèmes et composants de tuyauterie de gaz de haute pureté
• SEMI F62 Méthode d'essai pour déterminer les caractéristiques de performance du régulateur de débit massique à partir des effets de la température ambiante et du gaz

Les technologies énergétiques reposent sur des transducteurs de pression pour garantir la fiabilité des systèmes énergétiques. Ces transducteurs constituent une solution idéale pour le biogaz, le gaz naturel et d'autres sources d'énergie. La mesure de la pression est essentielle à leur sécurité et à leur fiabilité. Les industries qui doivent surveiller la pression du gaz sont généralement celles qui possèdent des systèmes complexes où la moindre erreur de calcul peut avoir des conséquences désastreuses.

Notre organisation fournit également des services de test pour les transducteurs de pression utilisés dans les systèmes de distribution de gaz dans le cadre de la norme SEMI F113, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle fournit aux entreprises dans divers secteurs.