Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F70 est une norme techniquement approuvée par le comité technique mondial des gaz. L'objectif de cette norme est de fournir une méthodologie standard et une méthode d'essai pour mesurer les performances des additifs particulaires d'un système de distribution de gaz en termes de nombre de particules ajoutées au gaz circulant dans le système. Cette procédure standardisée est destinée à être largement utilisée par les fournisseurs de systèmes de distribution de gaz, les fournisseurs d'équipements et les utilisateurs finaux.
Cette méthode d'essai s'applique aux systèmes de distribution de gaz conventionnels montés en surface utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Lors des essais, la norme SEMI F70.1-0320 annexée à cette norme est prise en compte (méthode d'essai pour déterminer la contribution particulaire du système de distribution de gaz et de ses composants par essai de choc).
L'une des considérations les plus importantes dans la conception d'un système de distribution de gaz est le niveau de pureté du gaz requis à chaque point d'utilisation. Le maintien de la pureté du gaz est simplifié par un système centralisé. Le choix des matériaux d'installation doit être cohérent d'un bout à l'autre. Par exemple, si un gaz de qualité recherche est utilisé, toutes les constructions en acier inoxydable et les vannes d'arrêt sans diaphragme doivent être utilisées pour empêcher la contamination du flux de gaz. En général, il existe trois niveaux de pureté pour décrire presque toutes les applications : pureté tout usage, haute pureté et ultra haute pureté.
Les normes et pratiques de sécurité SEMI ne prétendent pas résoudre tous les problèmes de sécurité liés à leur utilisation. Il incombe aux utilisateurs des normes d'établir des pratiques de sécurité et de santé appropriées et de déterminer l'applicabilité des restrictions d'utilisation.
En bref, le but de la norme SEMI F70 est de fournir une méthode de mesure des performances d'additif particulaire d'un système de distribution de gaz en termes de nombre de particules ajoutées au gaz circulant dans le système.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
Parmi les nombreuses études d'essais, de mesures, d'analyses et d'évaluations qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, notre organisation propose également des prestations d'essais pour la détermination de la contribution particulaire du réseau de distribution de gaz dans le cadre de la norme SEMI F70, avec ses équipes formées et personnel expert et équipement technologique de pointe.
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