La norme SEMI F77, élaborée dans le cadre du programme international de normalisation des équipements et matériaux pour semi-conducteurs (SEMI), qui soutient des industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats à l'échelle mondiale, définit une méthode d'essai pour déterminer la résistance relative à la corrosion par piqûres des surfaces en contact avec l'eau de composants destinés aux systèmes d'injection de gaz corrosifs pour la fabrication de semi-conducteurs. Cette méthode d'essai est une adaptation de la norme ASTM G150 publiée par l'ASTM (ASTM G150-18 : Méthode d'essai normalisée pour la détermination de la température critique de piqûration électrochimique des aciers inoxydables et alliages apparentés). Cette norme vise à différencier les compositions d'alliages ou les procédés susceptibles d'affecter la résistance à la corrosion des surfaces en contact avec l'eau. Les détails de la norme SEMI F77 sont contenus dans la norme ASTM G150 ; il est recommandé de se référer à cette dernière pour l'application de cette méthode d'essai.
La méthode d'essai décrite dans la norme SEMI F77 comprend une procédure électrochimique basée sur la température de piqûre critique utilisée pour classer la résistance à la corrosion par piqûre des coupons d'essai des surfaces mouillées des tuyaux ou des surfaces finies représentatives destinées à être utilisées dans les systèmes de gaz corrosifs. La corrosion par piqûres est connue pour être un mode important de défaillance de la corrosion dans les systèmes de distribution de gaz à semi-conducteurs, en particulier dans les composants et les tuyaux soudés et exposés à des gaz corrosifs et à l'humidité.
En bref, la méthode d'essai standard SEMI F77 est une adaptation de la méthode d'essai standard ASTM G150 et décrit une méthode d'essai pour effectuer l'adaptation sur des coupons ou des sections de surface humides découpées dans des composants du système d'alimentation en gaz tels que des bouteilles. C'est la méthode d'immersion humide.
Lors de la préparation de cette norme, la norme SEMI suivante a été prise comme référence :
Parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, notre organisation propose également des services de test pour déterminer la température de piqûre électrochimique critique des surfaces en acier inoxydable utilisées dans les systèmes de gaz corrosifs dans le cadre de la norme SEMI F77, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe. .
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