SEMI F104 Тест метод за евалуација на честички примеси на компоненти што се користат во системи за испорака на ултрачиста вода и течни хемикалии

SEMI F104 Тест метод за евалуација на честички примеси на компоненти што се користат во системи за испорака на ултрачиста вода и течни хемикалии

Развиен во рамките на програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна опрема и материјали за полупроводници (SEMI), стандардот SEMI F104 ги опишува барањата и ги претставува методите за тестирање за да се проценат и споредат компонентите во протокот на ултрачиста вода течност во однос на придонесот на честичките. Овој стандард дефинира два методи на тестирање за евалуација на придонесот на честичките: методот на тест за плакнење и методот на динамички тест.

SEMI F104 Тест метод за евалуација на честички примеси на компоненти што се користат во системи за испорака на ултрачиста вода и течни хемикалии

  • Тест методот за плакнење ги оценува перформансите во режимот на перење кога компонентата е во статична состојба, односно нема активно подвижна компонента во компонентата што се тестира. Со овој метод на тестирање, се добива индикација за волуменот на миење потребен за да се доведат нивоата на честички до спецификацијата.
  • Во методот на динамичко тестирање, перформансите се оценуваат за време на работата на компонентата и се добива индикација за придонесот на честичките во стабилна состојба поради динамичките работни услови.

Двата методи на тестирање се применуваат на течни хемиски и ултрачисти компоненти на системот за вода наменети за употреба во алатки за производство на полупроводници и помошна опрема.

Тест методите опишани во овој стандард се тестови за мерење на придонесот на компонентите со честички кога се користи ултрачиста вода како медиум за тестирање. За целите на овој стандард, ултрачистата вода мора да ги исполнува минималните барања наведени во стандардот. При примена на овие методи за тестирање, се користи течен инструмент за мерење на оптички честички за мерење на перформансите. Овој уред најчесто се користи како бројач на честички за откривање и следење на контаминација со честички во одредени чисти средини, вклучувајќи воздух, вода и хемикалии. Бројачите на честички се користат во индустриски технологии како што се електронски компоненти и склопови, фармацевтски лекови и медицински помагала, како и нафта и гас за поддршка на почисти производствени практики.

При подготовката на овој стандард, следните SEMI стандарди беа земени како референца:

  • SEMI E49 Водич за изведба на цевки со висока чистота и ултра-висока чистота за подсклопови и завршни склопови
  • SEMI F57 Спецификација за полимерни компоненти што се користат во системи за испорака на ултрачиста вода и течни хемикалии

Меѓу бројните тестови, мерења, анализи и евалуации што нашата организација ги нуди за бизниси во различни сектори, нудиме и услуги за тестирање за евалуација на содржината на честички во компонентите што се користат во системи за дозирање на ултра чиста вода и течни хемикалии според стандардот SEMI F104, користејќи обучен и стручен персонал и напредна технолошка опрема.

WhatsApp