Развиен според програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна полупроводничка опрема и материјали (SEMI), стандардот SEMI F70 е технички одобрен стандард од Глобалниот технички комитет за гасови. Целта на овој стандард е да обезбеди стандардна методологија и метод на тестирање за мерење на перформансите на адитивот на честичките на системот за дистрибуција на гас во однос на бројот на честички додадени на гасот што тече низ системот. Оваа стандардизирана процедура е наменета да биде широко користена од добавувачите на системот за дистрибуција на гас, добавувачите на опрема и крајните корисници.
Овој метод на тестирање се применува на конвенционалните системи за дистрибуција на гас монтирани на површина што се користат во опремата за производство на полупроводници. При испитувањата се зема предвид стандардот SEMI F70.1-0320 прикачен на овој стандард (тест метод за одредување на придонесот на честичките на системот за дистрибуција на гас и неговите компоненти со испитување на удар).
Едно од најважните размислувања при дизајнирање на систем за дистрибуција на гас е потребното ниво на чистота на гас во секоја точка на употреба. Одржувањето на чистотата на гасот е поедноставено со централизиран систем. Изборот на материјали за инсталација мора да биде конзистентен во текот на целиот период. На пример, ако се користи гас за истражување, треба да се користат сите конструкции од нерѓосувачки челик и затворачки вентили без дијафрагма за да се спречи контаминација на протокот на гас. Општо земено, постојат три нивоа на чистота за да се опише речиси секоја апликација: чистота за сите намени, висока чистота и ултра висока чистота.
Стандардите и безбедносните практики на SEMI не тврдат дека ги решаваат сите безбедносни прашања за нивна употреба. Одговорност на корисниците на стандардите е да воспостават соодветни безбедносни и здравствени практики и да ја утврдат применливоста на ограничувањата од употреба.
Накратко, целта на стандардот SEMI F70 е да обезбеди метод за мерење на перформансите на адитивот на честичките на системот за дистрибуција на гас во однос на бројот на честички додадени на гасот што тече низ системот.
При подготовката на овој стандард, следните SEMI стандарди беа земени како референца:
Меѓу бројните студии за тестирање, мерење, анализа и евалуација што ги обезбедува за бизниси во различни сектори, нашата организација обезбедува и услуги за тестирање за одредување на придонесот на честичките на системот за дистрибуција на гас во рамките на стандардот SEMI F70, со негови обучени и стручен кадар и напредна технолошка опрема.
Можете да побарате од нас да ја пополните нашата форма за да закажете состанок, да добиете подетални информации или да побарате проценка.
