SEMI F115 Тест метод за определување на метални елементи во влажни површини на системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота

SEMI F115 Тест метод за определување на метални елементи во влажни површини на системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота

Стандардот SEMI F115, развиен во рамките на меѓународна програма за стандарди наречена Меѓународна програма за полупроводничка опрема и материјали (SEMI), која вклучува активности од кои имаат корист индустриите како што се полупроводници, интегрирани кола, транзистори, диоди и рамни панели ширум светот, дефинира метод на тестирање за идентификување на метални елементи присутни на навлажнетите површини на системи и компоненти за хемиска испорака со ултра висока чистота (UHP).

SEMI F115 Тест метод за определување на метални елементи во влажни површини на системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота

Овој метод на тестирање е применлив за системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота. Примерите на тестови вклучуваат вентили, регулатори, филтри, контролори на масовниот проток, цевководи, склопови за заварување и склопови за заптивки на лице. Овој метод на тестирање може да се користи и за откривање на контаминација од склопување или производствена локација.

Горенаведениот стандард го детализира начинот на извлекување и мерење на отстранливите метални елементи со ултрачиста вода на влажни површини. Овој метод на тестирање може да се користи и за да се оцени ефикасноста на различните процеси на перење или чистење.

Гасовите со ултра висока чистота се широко користени во индустријата за полупроводници. Ултра високата чистота генерално се дефинира како концентрација помала од 100 ppb за сите испарливи молекули како што се нивото на нечистотија или влага.

При подготовката на овој стандард, следните SEMI стандарди беа земени како референца:

  • SEMI E49.2 Упатство за квалификација на полимерни групи што се користат за течни хемиски системи во полупроводничка опрема
  • SEMI E49.8 Водич за системи за дистрибуција на гас со висока чистота и ултра-висока чистота во опрема за производство на полупроводници
  • SEMI F20 Спецификација за шипки од нерѓосувачки челик 316L, кованици, екструдирани форми, плоча и цевки за компоненти што се користат во општа намена, апликации за производство на полупроводници со висока чистота и ултра висока чистота
  • SEMI F63 Ултрачиста водилка за вода што се користи во полупроводничка обработка

Нашата компанија, меѓу бројните студии за тестирање, мерење, анализа и евалуација што ги обезбедува за бизниси во различни сектори, со својот обучен и стручен кадар и напредна технолошка опрема, услуги за тестирање за одредување на метални елементи на влажни површини со ултра висока чистота. хемиски дистрибутивни системи и компоненти во рамките на стандардот SEMI F115. исто така дава.

WhatsApp