Тест метод за одредување на ефикасноста на размена на гасови / празнење на системот за дистрибуција на гас SEMI F80

Развиена во рамките на програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна полупроводничка опрема и материјали (SEMI), која вклучува активности во корист на индустриите како што се полупроводници, интегрирани кола, транзистори, диоди и рамни панели ширум светот, стандардот SEMI F80 е технички одобрен од страна на Глобалниот технички комитет за гасови.е стандард. Овој стандард опишува тест метод за одредување на ефикасноста на размена на гас / чистење на системот за дистрибуција на гас. Овој стандард ги опфаќа и конвенционалните метални системи за дистрибуција на гас и монтирани на површина. Овој тест метод е погоден за сите системи за дистрибуција на гас со висока чистота што се користат во погони за производство на полупроводници и споредливи области за истражување и развој.

Важно е да се отстрани амбиенталниот воздух од сите делови на системот за цевки за гас со висока чистота пред воведувањето на процесниот гас. Ова е неопходно од две причини:

• Преостанатиот воздух ја намалува чистотата на процесниот гас. Ова се однесува на секој процесен гас, без разлика дали е опасен или не.
• Воздухот содржи кислород и водена пареа, некои специјални гасови реагираат со кислород, а добиените производи од реакцијата може да предизвикаат контаминација на процесот и дефект на повеќекратната компонента. Другите гасови формираат високо корозивни производи кога се во контакт со водена пареа и го оштетуваат системот за цевки. Корозијата на опремата е исто така причина за контаминација.

Неопходно е да се отстрани процесниот гас од кој било дел од цевководниот систем пред да се изложи на амбиенталниот воздух. Причините за ова може да се наведат на следниов начин:

• Многу специјални гасови се многу токсични и претставуваат сериозна опасност по здравјето на работниците.
• Некои гасови се многу запаливи, па дури и самозапалливи и претставуваат опасност од пожар или експлозија.
• Некои гасови, од друга страна, стануваат високо корозивни кога се во контакт со водена пареа во воздухот и предизвикуваат оштетување на опремата и објектите.

Меѓу бројните тестови, мерења, анализи и евалуации што нашата организација ги нуди за бизниси во различни сектори, нудиме и услуги за тестирање за да се утврди ефикасноста на размена/испуштање на гас на системите за дистрибуција на гас во рамките на стандардот SEMI F80, благодарение на нашиот обучен и стручен персонал и напредна технолошка опрема.