Тест метод за одредување интегритет на истекување на системите за дистрибуција на гас со детекторот за истекување на хелиум SEMI F106

Развиена во рамките на програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна опрема и материјали за полупроводници (SEMI), која вклучува активности во корист на индустриите како што се полупроводници, интегрирани кола, транзистори, диоди и рамни панели ширум светот, стандардот SEMI F106 е технички одобрен од страна на Глобалниот технички комитет за гасови.е стандард. Овој стандард опишува тест метод за откривање внатрешно истекување на хелиум за системи за дистрибуција на гас. Овој стандард ги опфаќа и конвенционалните метални системи за дистрибуција на гас и монтирани на површина.

Презентираниот метод на тестирање е применлив за сите видови системи за дистрибуција на гас со висока чистота што се користат во постројки за производство на полупроводници и споредливи области за истражување и развој.

Тестирањето за истекување на хелиум се применува за откривање на можни истекувања во различни типови на затворени или запечатени системи кои користат хелиум како гас за следење. Со овој тест, концентрацијата на истекување (истекување) се мери и се одредува како стапка на истекување.

Главните клучни квалитети на гасот хелиум што го прават идеален за тестирање на истекување се:

• Гасот хелиум е една од најмалите молекули што му овозможува сигурно и брзо преминување на патиштата.
• Гасот хелиум е инертен гас, не комуницира со тестираните компоненти и затоа е безбеден за употреба.
• Бучавата на уредот од хелиумот е инхерентно мала поради неговата ограничена достапност во атмосферата со помалку од 5 ppm и затоа дава исклучително точни извештаи.

Накратко, методите за тестирање базирани на хелиум се високо чувствителна технологија за тестирање на истекување опремена со откривање на екстремно мали протекувања кои не се можни со други методи за тестирање на истекување. За овој тест се користи техника со висок вакуум. Обезбедени се многу ниски прагови за тестирање на истекување, ниво на чувствителност што овозможува неспоредливи споредби помеѓу компонентите на пакувањето.

Нашата организација, меѓу бројните студии за тестирање, мерење, анализа и евалуација што ги обезбедува за бизниси во различни сектори, обезбедува и услуги за тестирање за утврдување на интегритетот на истекување на системите за дистрибуција на гас со детектор за истекување на хелиум во рамките на стандардот SEMI F106, со неговиот обучен и стручен кадар и напредна технолошка опрема.