SEMI F73 Тест метод за скенирање електронска микроскопија (SEM) евалуација на состојбата на влажна површина на компоненти од нерѓосувачки челик

Развиен во рамките на програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна опрема и материјали за полупроводници (SEMI), стандардот SEMI F73 дефинира единствен метод на тестирање за тестирање на влажни површини на компоненти од нерѓосувачки челик наменети за склопување во системи за дистрибуција на гас со висока чистота. Овој метод на тестирање ја карактеризира појавата, зачестеноста и, во некои случаи, идентитетот на микроскопски површински дефекти и загадувачи што се гледаат на влажни површини.

Постои директна корелација помеѓу резултатите од овој метод на тестирање и контаминацијата на процесните гасови или приносите на производите во процесите што ги опслужуваат системи за дистрибуција на гас со висока чистота. Примената на овој метод на тестирање има за цел да даде споредливи и повторливи резултати меѓу различни корисници на овој метод заради квалификација на компонентите.

Целта на методот за тестирање опишан во овој стандард е да дефинира општ сет на инструментални параметри и услови кои ќе дадат прецизни и повторливи мерења на важни параметри на состојбата на површината.

Овој метод на тестирање е применлив на влажни површини на цевки од нерѓосувачки челик, фитинзи, вентили и други компоненти за да се одреди ефективноста на третманите за доработка и чистење на површините. Овој метод се применува за да се идентификуваат површинските дефекти, вклучувајќи јами, подмножества, гребнатини, преостанати ознаки од процесот, граници на зрната и контаминација на влажните површини. Сепак, секое површинско оштетување настанато за време на подготовката на примерокот треба да се исклучи од оваа проценка.

Електронски микроскоп за скенирање (SEM) е електронски микроскоп кој користи фокусиран зрак на електрони за скенирање и сликање на површината на примерокот. Електроните комуницираат со атомите во примерокот и произведуваат различни сигнали кои содржат информации за составот на површината на примерокот. Стандардните уреди за скенирање се погодни за проверка на суви и спроводливи површини во висок вакуум. Сепак, постојат и уреди за скенирање кои работат во низок вакуум, влажни услови и услови кои се движат од многу ниски до високи температури.

Меѓу бројните тестови, мерења, анализи и евалуации што нашата организација ги нуди за бизниси во различни сектори, нудиме и услуги за тестирање за евалуација на состојбата на влажната површина на компонентите од не'рѓосувачки челик со помош на скенирачка електронска микроскопија (SEM) во рамките на стандардот SEMI F73, благодарение на нашиот обучен и стручен персонал и напредна технолошка опрема.