SEMI F114 Тест метод за определување на органски загадувачи на влажни површини на системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота

Развиен во рамките на програмата за меѓународни стандарди наречена Меѓународна полупроводничка опрема и материјали (SEMI), стандардот SEMI F114 дефинира тест метод за одредување на органски соединенија на влажни површини на системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота (UHP).

Овој метод на тестирање е применлив за системи и компоненти за испорака на хемикалии со ултра висока чистота. Примери на тестови вклучуваат вентили, регулатори, филтри и контролори на масовниот проток, цевководи, фитинзи за заварување и фитинзи за заптивки на лице. Опишаниот метод на тестирање исто така се користи за откривање на контаминација од склопување или производна област. Овој метод на тестирање го детализира методот на отстранување и мерење на органските загадувачи кои се наоѓаат на влажните површини.

Накратко, овој метод на тестирање може да се користи и за да се оцени ефикасноста на различните процеси на перење или чистење.

При подготовката на овој стандард, следните SEMI стандарди беа земени како референца:

• SEMI E49.8 Водич за системи за дистрибуција на гас со висока чистота и ултра-висока чистота во опрема за производство на полупроводници
• SEMI F20 Спецификација за шипки од нерѓосувачки челик 316L, кованици, екструдирани форми, плоча и цевки за компоненти што се користат во општа намена, апликации за производство на полупроводници со висока чистота и ултра висока чистота

Органските загадувачи се дефинираат како хемикалии на база на јаглерод, како што се органски растворувачи, пестициди, отпад од нафта, дрво и испарливи соединенија во гасовита или течна фаза. Органските загадувачи генерално предизвикуваат негативни влијанија врз животната средина. Нивоата во траги од остатоци од органски загадувачи што се наоѓаат во почвата, водата, воздухот, а понекогаш и во храната, се сметаат за штетни за здравјето на луѓето и животната средина. Органските загадувачи во гасовита или течна фаза може да вклучуваат растворувачи, хемиски прекурсори и меѓупроизводи и испарливи органски соединенија (VOC) во форма на нафтени соединенија.

Нашата организација обезбедува услуги за тестирање за одредување на органски загадувачи на влажни површини на системи и компоненти за дистрибуција на хемикалии со ултра висока чистота во рамките на стандардот SEMI F114, со својот обучен и стручен кадар и напредна технолошка опрема, меѓу бројните тестови, мерни , студии за анализа и евалуација што ги обезбедува за бизниси во различни сектори.