SEMI F111 опрема за филтер за вентилатор (EFFU) Метод за испитување за отстранување на честички

Стандардот SEMI F111, развиен во рамките на меѓународната програма за стандарди наречена Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), која вклучува активности од кои имаат корист индустриите како што се полупроводници, интегрирани кола, транзистори, диоди и рамни панели ширум светот, дефинира метод на тестирање за мерење на способноста за отстранување на честички на вентилаторските филтерски единици на опремата (EFFU) монтирани во опремата.

Бидејќи внатре во опремата е инсталиран филтер за честички на вентилаторот, склоп на вентилатор и мотор, интегритетот на овие делови е многу важен за перформансите на единицата за филтрирање на вентилаторот на опремата. Затоа, конвенционален тест метод за отстранување на честички за филтри за честички е погоден за проценка на перформансите за отстранување на честички на единицата за филтер за вентилатор на опремата.

Методот за тестирање опишан во овој стандард опишува метод на евалуација за единицата за филтрирање на вентилаторот на опремата инсталирана во затворен простор за отстранување на честичките произведени во процесната опрема. Перформансите на отстранување на честички на единиците за филтрирање на вентилаторот на опремата генерално зависат од перформансите на медиумот за филтрирање и брзината на протокот на воздух. За да се разберат перформансите на единицата за филтрирање на вентилаторот на опремата, неопходно е истовремено да се земат предвид спецификацијата на медиумот за филтрирање, брзината на проток на воздух и интегритетот на деловите на единицата за филтер за вентилатор на опремата. Накратко, овој метод на тестирање има за цел да ги демонстрира перформансите на системот на единицата за филтрирање на вентилаторот на опремата.

Единицата за филтрирање на вентилаторот на опремата е еден вид моторизирана опрема за филтрирање на воздух. Се користи за отстранување на штетните честички во воздухот од амбиенталниот воздух и за снабдување со прочистен воздух во чисти простории, лаборатории, медицински установи или микросредини. Овие единици обично содржат сопствен филтер, HEPA филтер и внатрешно контролирана дистрибуција на воздухот од вентилаторот. Единиците за филтрирање на вентилаторот на опремата се флексибилни и економични решенија за отстранување на честички од еднонасочна вентилирана опрема.

При подготовката на овој стандард, како референца беше земен следниот SEMI стандард:

• SEMI F38 Тест метод за квалификација на ефикасност на филтри за гас на точка на употреба

Помеѓу бројните студии за тестирање, мерење, анализа и евалуација што ги обезбедува за бизниси во различни сектори, нашата организација обезбедува и тест услуги за чистење на честички на единицата за филтер за вентилатор на опремата (EFFU) во рамките на стандардот SEMI F111, со својот обучен и стручен кадар. и напредна технолошка опрема.