Método de prueba SEMI F104 para la evaluación de la contribución de partículas de los componentes utilizados en sistemas de suministro de agua ultrapura y productos químicos líquidos

Desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el estándar SEMI F104 describe los requisitos y presenta métodos de prueba para evaluar y comparar componentes en el flujo de agua líquida ultrapura en términos de contribución de partículas. Esta norma define dos métodos de prueba para evaluar la contribución de partículas: el método de prueba de enjuague y el método de prueba dinámico.

• El método de prueba de enjuague evalúa el rendimiento en el modo de lavado cuando el componente está en un estado estático, es decir, no hay ningún componente en movimiento activo en el componente bajo prueba. Con este método de prueba, se obtiene una indicación del volumen de lavado requerido para llevar los niveles de partículas a la especificación.
• En el método de prueba dinámica, el rendimiento se evalúa durante la operación del componente y se obtiene una indicación de la contribución de partículas en estado estable debido a las condiciones de operación dinámica.

Ambos métodos de prueba se aplican a componentes de sistemas de agua ultrapura y químicos líquidos destinados a utilizarse en herramientas de fabricación de semiconductores y equipos auxiliares.

Los métodos de prueba descritos en esta norma son pruebas para medir la contribución de partículas de los componentes cuando se usa agua ultrapura como medio de prueba. Para los propósitos de esta norma, el agua ultrapura debe cumplir con los requisitos mínimos descritos en la norma. Al aplicar estos métodos de prueba, se utiliza un instrumento de medición de partículas ópticas líquidas para medir el rendimiento. Este dispositivo se usa comúnmente como contador de partículas para detectar y monitorear la contaminación por partículas en ciertos ambientes limpios, incluidos el aire, el agua y los productos químicos. Los contadores de partículas se utilizan en tecnologías industriales como componentes y ensamblajes electrónicos, productos farmacéuticos y dispositivos médicos, y petróleo y gas para respaldar prácticas de producción más limpias.

En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:

• SEMI E49 Guía de rendimiento de tuberías de alta pureza y ultra alta pureza para subconjuntos y ensamblajes finales
• Especificación SEMI F57 para componentes poliméricos utilizados en sistemas de suministro de agua ultrapura y productos químicos líquidos

Entre las numerosas pruebas, mediciones, análisis y evaluaciones que nuestra organización ofrece a empresas de diversos sectores, también ofrecemos servicios de ensayo para la evaluación del contenido de partículas en componentes utilizados en sistemas de dispensación de agua ultrapura y productos químicos líquidos según la norma SEMI F104, utilizando nuestro personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados.