Método de prueba SEMI F113 para transductores de presión utilizados en sistemas de distribución de gas

Método de prueba SEMI F113 para transductores de presión utilizados en sistemas de distribución de gas

En el estándar SEMI F113, desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que incluye actividades en beneficio de industrias como semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas en todo el mundo. , se utiliza en sistemas de distribución de gas para el procesamiento de semiconductores Se describe un método de prueba para transductores de presión electrónicos.

Método de prueba SEMI F113 para transductores de presión utilizados en sistemas de distribución de gas

El método de prueba descrito es para probar la integridad de las fugas, el tiempo de calentamiento, la precisión del voltaje, la inexactitud, la linealidad, la repetibilidad, la histéresis, la reproducibilidad, el coeficiente térmico, el sesgo, el ciclo de vida acelerado y la presión de prueba de los transductores de presión con el rango de presión completo de 2757.9 o menos en los sistemas de distribución de gas incluye procedimientos.

En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:

  • Especificaciones y pautas para nitrógeno SEMI C59
  • Controlador de flujo másico SEMI E27 y guía de linealidad del medidor de flujo másico
  • Manual de especificaciones de presión para el controlador de flujo másico SEMI E28
  • Guía de rendimiento de tuberías de alta pureza y ultra alta pureza SEMI E49 para subconjuntos y ensamblajes finales
  • SEMI E56 Método de prueba para la determinación de precisión, linealidad, repetibilidad, reproducibilidad a corto plazo, histéresis y banda muerta de controladores de flujo másico térmico
  • SEMI E89 Manual de análisis del sistema de medición (MSA)
  • SEMI F1 Especificación de integridad de fugas de sistemas y componentes de tuberías de gas de alta pureza
  • Método de prueba SEMI F62 para determinar las características de rendimiento del controlador de flujo másico a partir de los efectos de la temperatura ambiente y del gas

La tecnología energética se basa en transductores de presión para crear un sistema energético fiable. Los transductores de presión son una excelente solución para el biogás, el gas natural y otras fuentes de energía. Estas fuentes requieren la medición de la presión para garantizar su seguridad y fiabilidad. Las industrias que generalmente necesitan monitorizar la presión del gas son aquellas con sistemas complejos, donde incluso el más mínimo error de cálculo puede provocar un desastre.

Nuestra organización también brinda servicios de prueba para transductores de presión utilizados en sistemas de distribución de gas dentro del alcance de la norma SEMI F113, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados, entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que brinda a las empresas en diversos sectores.

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