La norma SEMI F77, desarrollada en el marco del programa internacional de estándares SEMI (International Semiconductor Equipment and Materials), que abarca actividades que benefician a industrias como la de semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas a nivel mundial, define un método de ensayo para determinar la resistencia relativa a la corrosión por picaduras de superficies húmedas de componentes destinados a sistemas de suministro de gas corrosivo para la fabricación de semiconductores. Este método de ensayo es una adaptación de la norma ASTM G150 publicada por la Sociedad Estadounidense para Pruebas y Materiales (ASTM) (ASTM G150-18: Método de ensayo estándar para la determinación de la temperatura crítica de picadura electroquímica de aceros inoxidables y aleaciones relacionadas). Esta norma tiene como objetivo diferenciar entre composiciones de aleación o procesos que afectarán el comportamiento frente a la corrosión de las superficies en contacto con el fluido. Los detalles de la norma SEMI F77 se encuentran en la norma ASTM G150, y se recomienda consultar esta última para la aplicación de este método de ensayo.
El método de prueba descrito en la norma SEMI F77 incluye un procedimiento electroquímico crítico basado en la temperatura de picadura que se utiliza para clasificar la resistencia a la corrosión por picadura de los cupones de prueba de superficies mojadas de tuberías o superficies acabadas representativas destinadas a su uso en sistemas de gas corrosivo. Se sabe que la corrosión por picadura es un modo importante de falla por corrosión en los sistemas de distribución de gas semiconductor, particularmente en componentes y tuberías soldados y expuestos a gases corrosivos y humedad.
Brevemente, el método de prueba estándar SEMI F77 es una adaptación del método de prueba estándar ASTM G150 y describe un método de prueba para realizar la adaptación en cupones o secciones de superficie húmeda cortadas de componentes del sistema de suministro de gas como cilindros. Este es el método de inmersión en húmedo.
En la elaboración de esta norma se tomó como referencia la siguiente norma SEMI:
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