Desarrollado bajo un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el propósito del estándar SEMI F72 es describir un método de prueba para caracterizar la composición de la superficie de componentes pasivados de acero inoxidable 316L considerados para instalación en un sistema de distribución de gas de alta pureza. . Este método de prueba está diseñado para aplicarse a superficies húmedas de tuberías, accesorios, válvulas y otros componentes de acero inoxidable como medida de la eficacia de pasivación. El proceso de pasivación es el proceso de neutralización del hierro después del uso de un ácido para eliminar el óxido.
-icin-test-yontemi-pasiflestirilmis-316l-paslanmaz-celik-bilesenlerin-islak-yuzeylerinin-testleri.jpg "Método de prueba SEMI F72Auger para pruebas de espectroscopía electrónica (AES) de superficies húmedas de componentes de acero inoxidable 316L pasivado")
El propósito de este método de prueba es definir un conjunto general de parámetros y condiciones del instrumento que obtendrán mediciones reproducibles dentro de la capa de óxido pasivo enriquecida con cromo. Este método de prueba se ha preparado para caracterizar la composición y el espesor de la capa de óxido enriquecido con cromo de las superficies de acero inoxidable y para detectar la contaminación de la superficie en tuberías, accesorios, válvulas y otros componentes. El método implica detectar y medir la composición de los elementos de la superficie mediante espectroscopía electrónica Auger (AES). Este método de prueba también describe el método de prueba para el perfil de composición en profundidad de cromo, hierro, níquel, oxígeno y carbono que se extiende desde la superficie tomada a través de las capas de óxido hasta el metal base. Esta medición proporciona información sobre el espesor del óxido y el enriquecimiento de cromo en toda la región pasivada.
Usando espectroscopía electrónica Auger (AES), la muestra es bombardeada por electrones de alta energía y algunos electrones se eliminan de los átomos objetivo y los átomos se ionizan. Dado que el átomo ionizado es inestable, un electrón del orbital externo llena la vacante de electrones en el orbital interno. Este método es una técnica de análisis de imágenes muy poderosa.
En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:
Nuestra organización, entre los numerosos estudios de ensayo, medición, análisis y evaluación que ha realizado para empresas de diversos sectores, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados, el método de ensayo por espectroscopía electrónica Auger (AES) en el ámbito de la SEMI El estándar F72 es el método de prueba de óxido de las superficies húmedas de los componentes pasivados de acero inoxidable 316 L. También proporciona servicios de prueba para la evaluación de la capa.
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