La norma SEMI F111, desarrollada en el marco de un programa internacional de normas denominado Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI), que incluye actividades que benefician a industrias como la de semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas en todo el mundo, define un método de prueba para medir la capacidad de eliminación de partículas de las unidades de filtro de ventilador de equipos (EFFU) montadas dentro de los equipos.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "Método de prueba de la unidad de filtro del ventilador del equipo (EFFU) SEMI F111 para la eliminación de partículas")
Dado que hay un filtro de partículas del ventilador, un conjunto de ventilador y motor instalado dentro del equipo, la integridad de estas piezas es muy importante para el rendimiento de la unidad de filtro del ventilador del equipo. Por lo tanto, un método de prueba de eliminación de partículas convencional para filtros de partículas es adecuado para evaluar el rendimiento de eliminación de partículas de la unidad de filtro del ventilador del equipo.
El método de prueba descrito en esta norma describe un método de evaluación para una unidad de filtro de ventilador de equipo instalada en un espacio confinado para eliminar las partículas producidas dentro del equipo de proceso. El rendimiento de eliminación de partículas de las unidades de filtro de ventilador del equipo depende generalmente del rendimiento del medio filtrante y del caudal de aire. Para comprender el rendimiento de una unidad de filtro de ventilador de equipo, es necesario considerar simultáneamente la especificación del medio filtrante, el caudal de aire y la integridad de las piezas de la unidad de filtro de ventilador de equipo. Brevemente, este método de prueba tiene como objetivo demostrar el rendimiento del sistema de la unidad de filtro del ventilador del equipo.
La unidad de filtro del ventilador del equipo es un tipo de equipo de filtración de aire motorizado. Se utiliza para eliminar partículas dañinas en el aire del aire ambiente y para suministrar aire purificado a salas blancas, laboratorios, instalaciones médicas o microambientes. Estas unidades generalmente contienen su propio filtro, filtro HEPA y distribución de aire del ventilador controlada internamente. Las unidades de filtro de ventilador de equipo son soluciones flexibles y económicas para eliminar partículas de equipos ventilados unidireccionales.
En la elaboración de esta norma se tomó como referencia la siguiente norma SEMI:
Entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que ofrece a las empresas de diversos sectores, nuestra organización también brinda servicios de prueba para la limpieza de partículas de la unidad de filtro de ventilador de equipo (EFFU) dentro del alcance de la norma SEMI F111, con su personal capacitado y experto. y equipamiento tecnológico avanzado.
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