Desarrollado bajo un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el estándar SEMI F70 es un estándar técnicamente aprobado por el Comité Técnico Global de Gases. El propósito de esta norma es proporcionar una metodología y un método de prueba estándar para medir el desempeño de aditivos particulados de un sistema de distribución de gas en términos de la cantidad de partículas agregadas al gas que fluye a través del sistema. Este procedimiento estandarizado está destinado a ser utilizado ampliamente por proveedores de sistemas de distribución de gas, proveedores de equipos y usuarios finales.
Este método de prueba se aplica a los sistemas de distribución de gas de montaje en superficie convencionales que se utilizan en equipos de fabricación de semiconductores. Durante las pruebas, se tiene en cuenta la norma SEMI F70.1-0320 adjunta a esta norma (método de prueba para determinar la contribución de partículas del sistema de distribución de gas y sus componentes mediante pruebas de impacto).
Una de las consideraciones más importantes al diseñar un sistema de distribución de gas es el nivel de pureza del gas requerido en cada punto de uso. Mantener la pureza del gas se simplifica mediante un sistema centralizado. La elección de los materiales para la instalación debe ser constante en todo momento. Por ejemplo, si se usa un gas de grado de investigación, se deben usar todas las construcciones de acero inoxidable y válvulas de cierre sin diafragma para evitar la contaminación de la corriente de gas. En general, hay tres niveles de pureza para describir casi cualquier aplicación: pureza para todo uso, alta pureza y ultra alta pureza.
Los estándares y las prácticas de seguridad de SEMI no pretenden abordar todos los problemas de seguridad para su uso. Es responsabilidad de los usuarios de las normas establecer prácticas adecuadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las restricciones de uso.
En resumen, el propósito del estándar SEMI F70 es proporcionar un método para medir el desempeño del aditivo particulado de un sistema de distribución de gas en términos de la cantidad de partículas agregadas al gas que fluye a través del sistema.
En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:
Entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que brinda a las empresas de diversos sectores, nuestra organización también brinda servicios de prueba para la determinación del aporte de partículas del sistema de distribución de gas dentro del alcance de la norma SEMI F70, con sus capacitados y personal experto y equipo tecnológico avanzado.
Para obtener una cita, obtener información más detallada o solicitar una evaluación, puede solicitarnos que completemos nuestro formulario y lo contactemos.
