Método de prueba para determinar la integridad de las fugas de los sistemas de distribución de gas con el detector de fugas de helio SEMI F106

Desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que incluye actividades en beneficio de industrias como semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas en todo el mundo, el estándar SEMI F106 está técnicamente aprobado. por el Comité Técnico Global de Gases. es un estándar. Esta norma describe un método de prueba para detectar fugas internas de helio para sistemas de distribución de gas. Esta norma cubre tanto el sellado de caras metálicas convencionales como los sistemas de distribución de gas montados en superficie.

El método de prueba presentado es aplicable a todos los tipos de sistemas de distribución de gas de alta pureza utilizados en plantas de fabricación de semiconductores y áreas de investigación y desarrollo comparables.

La prueba de fugas de helio se aplica para detectar posibles fugas en diferentes tipos de sistemas cerrados o sellados que utilizan helio como gas trazador. Con esta prueba, la concentración de fuga (fuga) se mide y se determina como la tasa de fuga.

Las principales cualidades clave del gas helio que lo hacen ideal para pruebas de fugas son:

• El gas helio es una de las moléculas más pequeñas que le permite cruzar caminos de manera confiable y rápida.
• El gas helio es un gas inerte, no interactúa con los componentes probados y, por lo tanto, es seguro de usar.
• El ruido del helio del dispositivo es intrínsecamente bajo debido a su disponibilidad limitada en la atmósfera a menos de 5 ppm y, por lo tanto, proporciona informes extremadamente precisos.

En resumen, los métodos de prueba a base de helio son una tecnología de prueba de fugas altamente sensible equipada con la detección de fugas extremadamente pequeñas que no son posibles con otros métodos de prueba de fugas. Para esta prueba se utiliza la técnica de alto vacío. Se proporcionan umbrales de prueba de fugas muy bajos, un nivel de sensibilidad que permite comparaciones incomparables entre los componentes del paquete.

Nuestra organización, entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que brinda a empresas de diversos sectores, también brinda servicios de prueba para la determinación de la integridad de fugas de sistemas de distribución de gas con detector de fugas de helio dentro del alcance de la norma SEMI F106, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados.