Desarrollado bajo un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el estándar SEMI F69 es un estándar técnicamente aprobado por el Comité Técnico Global de Gases. Esta norma proporciona métodos de prueba que se aplicarán para caracterizar la integridad mecánica de los sistemas de distribución de gas mediante pruebas de vibración y choque. Los métodos de prueba recomendados aquí incluyen vibración (simulación de transporte) y pruebas de impacto de los sistemas de distribución de gas (incluido el montaje convencional y en superficie) para el procesamiento de semiconductores.
Los métodos de prueba definidos en la norma SEMI F69 se aplican a los sistemas de distribución de gas que no están empaquetados para su envío. Específicamente, los métodos de prueba se aplican a los componentes de distribución de gas ensamblados e interconectados y su panel de montaje asociado, con o sin una pantalla de chapa metálica.
A los efectos de esta norma, se espera que la vibración y la simulación de transporte sean más altas de lo normal a los niveles de vibración en uso. Por lo tanto, las pruebas de simulación de transporte se consideran aceptables para evaluar la integridad mecánica adecuada tanto para el envío como para el estrés de vibración del ciclo de vida de los sistemas de distribución de gas.
El propósito de las pruebas de impacto es proporcionar una evaluación más detallada de las fallas del equipo resultantes de los golpes durante el desembalaje, la instalación o el uso en el campo.
Representa una integridad mecánica recomendada para la arquitectura, el diseño y las técnicas de ensamblaje de los sistemas de distribución de gas, una vez que se hayan completado con éxito las pruebas recomendadas en esta norma.
Cuando los gases se utilizan en volúmenes importantes, un sistema de distribución de gas centralizado es una necesidad práctica. Un sistema de distribución bien diseñado reduce los costos operativos, aumenta la productividad y aumenta la seguridad. Un sistema central permite la consolidación de todos los cilindros en una ubicación de almacenamiento. En esta aplicación, los gases se separan según su tipo para aumentar la seguridad.
En la elaboración de esta norma se tomó como referencia la siguiente norma SEMI:
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