Desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el estándar SEMI F112 se enfoca en determinar las características de secado por humedad (es decir, la cantidad de humedad extraíble) del montaje superficial de los sistemas integrados de distribución de gas y gas convencional. sistemas de distribución que utilizan analizadores de espectroscopia de anillo espacial (CRDS). Se define un método de prueba para
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg "Método de prueba SEMI F112 para la determinación de propiedades de secado por humedad de sistemas de distribución de gas convencionales y montados en superficie mediante espectroscopía de anillo de cavidad (CRDS)")
Los resultados de este método de prueba se utilizan para la clasificación cualitativa del sistema de distribución de gas según el diseño. También puede ser utilizado por un usuario con conocimientos suficientes como entrada para la simulación numérica del comportamiento de un sistema de distribución de gas.
En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:
La espectroscopía de anillo espacial (CRDS) es una técnica bien conocida y utilizada para monitorear la humedad en gases de proceso de alta pureza en las industrias de fabricación de semiconductores y LED, así como en la producción, transporte y distribución de gases industriales y químicos. Los beneficios de esta técnica de monitoreo de humedad precisa y rentable están atrayendo la atención de emisores de estándares de la industria como SEMI.
El método de prueba presentado en el estándar SEMI F112 permite a los usuarios evaluar y clasificar cualitativamente los sistemas de distribución de gas de acuerdo con su diseño. Esta norma cubre las siguientes áreas principales de aplicación:
En general, los estándares SEMI son acuerdos técnicos voluntarios entre proveedores y clientes destinados a mejorar la calidad y confiabilidad del producto a través de un suministro estable. Estos estándares garantizan la compatibilidad global de los productos para enfrentar los desafíos de aumentar la productividad al tiempo que brindan oportunidades comerciales en todo el mundo.
Nuestra organización, entre los numerosos estudios de ensayo, medición, análisis y evaluación que ha realizado para empresas de diversos sectores, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados, dentro del alcance de la norma SEMI F112, propiedades de secado por humedad de superficies y sistemas de distribución de gas convencionales con espectroscopia de anillo espacial (CRDS). También proporciona servicios de prueba para la determinación de
Para obtener una cita, obtener información más detallada o solicitar una evaluación, puede solicitarnos que completemos nuestro formulario y lo contactemos.
