Desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), el estándar SEMI F73 define un método de prueba uniforme para probar superficies húmedas de componentes de acero inoxidable destinados a ser ensamblados en sistemas de distribución de gas de alta pureza. Este método de prueba caracteriza la ocurrencia, frecuencia y, en algunos casos, identidad de defectos superficiales microscópicos y contaminantes observados en superficies húmedas.
-degerlendirmesi-icin-test-yontemi.jpg "Método de prueba SEMI F73 para evaluación de microscopía electrónica de barrido (SEM) de la condición de la superficie húmeda de componentes de acero inoxidable")
Existe una correlación directa entre los resultados de este método de prueba y la contaminación de los gases de proceso o los rendimientos del producto en los procesos servidos por sistemas de distribución de gas de alta pureza. La aplicación de este método de prueba está destinada a producir resultados comparables y reproducibles entre varios usuarios de este método con el fin de calificar los componentes.
El propósito del método de prueba descrito en esta norma es definir un conjunto general de parámetros y condiciones instrumentales que producirán mediciones precisas y repetibles de parámetros importantes de la condición de la superficie.
Este método de prueba es aplicable a superficies húmedas en tuberías, accesorios, válvulas y otros componentes de acero inoxidable para determinar la efectividad de los tratamientos de limpieza y acabado de superficies. Este método se aplica para identificar defectos superficiales que incluyen picaduras, inclusiones, rayones, marcas de proceso residuales, límites de grano y contaminación en superficies mojadas. Sin embargo, cualquier daño en la superficie que se produzca durante la preparación de la muestra debe excluirse de esta evaluación.
Un microscopio electrónico de barrido (SEM) es un microscopio electrónico que utiliza un haz de electrones enfocado para escanear y obtener imágenes de la superficie de la muestra. Los electrones interactúan con los átomos de la muestra y producen diferentes señales que contienen información sobre la composición de la superficie de la muestra. Los dispositivos de escaneo estándar son adecuados para inspeccionar superficies secas y conductoras en alto vacío. Sin embargo, también existen dispositivos de escaneo que operan en condiciones de bajo vacío, humedad y condiciones que van desde muy bajas a altas temperaturas.
Entre las numerosas pruebas, mediciones, análisis y evaluaciones que nuestra organización ofrece a empresas de diversos sectores, también ofrecemos servicios de ensayo para la evaluación del estado de la superficie húmeda de componentes de acero inoxidable mediante microscopía electrónica de barrido (SEM) dentro del ámbito de la norma SEMI F73, gracias a nuestro personal capacitado y experto y a nuestros equipos tecnológicos avanzados.
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