Método de prueba para determinar la eficiencia de intercambio / descarga de gas del sistema de distribución de gas SEMI F80

Desarrollado en el marco de un programa de estándares internacionales llamado International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), que incluye actividades en beneficio de industrias como semiconductores, circuitos integrados, transistores, diodos y pantallas planas en todo el mundo, el estándar SEMI F80 está técnicamente aprobado. por el Comité Técnico Global de Gases. es un estándar. Esta norma describe un método de prueba para determinar la eficiencia de intercambio / limpieza de gas del sistema de distribución de gas. Esta norma cubre tanto el sellado de caras metálicas convencionales como los sistemas de distribución de gas montados en superficie. Este método de prueba es adecuado para todos los sistemas de distribución de gas de alta pureza utilizados en plantas de fabricación de semiconductores y áreas de investigación y desarrollo comparables.

Es importante eliminar el aire ambiental de todas las partes de un sistema de tuberías de gas de alta pureza antes de la introducción del gas de proceso. Esto es necesario por dos razones:

• El aire restante reduce la pureza del gas de proceso. Esto se aplica a cualquier gas de proceso, ya sea peligroso o no.
• El aire contiene oxígeno y vapor de agua, algunos gases especiales reaccionan con el oxígeno y los productos de reacción resultantes pueden causar contaminación del proceso y fallas en los componentes del colector. Otros gases forman productos altamente corrosivos cuando entran en contacto con el vapor de agua y dañan el sistema de tuberías. La corrosión del equipo también es una causa de contaminación.

Es necesario eliminar el gas de proceso de cualquier parte del sistema de tuberías antes de exponerlo al aire ambiente. Las razones de esto se pueden enumerar de la siguiente manera:

• Muchos gases especiales son altamente tóxicos y representan un grave peligro para la salud de los trabajadores.
• Algunos gases son altamente inflamables o incluso autoinflamables y presentan un riesgo de incendio o explosión.
• Algunos gases, por otro lado, se vuelven altamente corrosivos cuando entran en contacto con el vapor de agua en el aire y causan daños a los equipos e instalaciones.

Entre las numerosas pruebas, mediciones, análisis y evaluaciones que nuestra organización ofrece a empresas de diversos sectores, también ofrecemos servicios de ensayo para determinar la eficiencia de intercambio/descarga de gases de los sistemas de distribución de gas dentro del ámbito de la norma SEMI F80, gracias a nuestro personal capacitado y experto y a nuestros equipos tecnológicos avanzados.