Método de prueba SEMI F76 para la evaluación de la contribución de partículas de los componentes del sistema de gas expuestos a gas corrosivo

Método de prueba SEMI F76 para la evaluación de la contribución de partículas de los componentes del sistema de gas expuestos a gas corrosivo

La norma SEMI F76, desarrollada bajo el programa internacional de estándares Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , define un método de prueba para comparar componentes de procesamiento de gas en cuanto a la posible generación de partículas en servicio con gases corrosivos. Esta norma está diseñada como una forma práctica de generar datos de rendimiento para un grupo de componentes que se compararán en un proceso de selección. El método de prueba descrito es aplicable a válvulas, filtros de partículas y reguladores de baja presión.

Método de prueba SEMI F76 para la evaluación de la contribución de partículas de los componentes del sistema de gas expuestos a gas corrosivo

Los estándares SEMI brindan a los fabricantes orientación sobre los procesos químicos y materiales involucrados en la fabricación de chips semiconductores y otros dispositivos relacionados. Gracias a estos estándares, las empresas pueden ingresar a los mercados internacionales, minimizar los riesgos de diseño y aumentar su productividad.

Para la industria de los semiconductores, la alta pureza, la resistencia química, la densidad y la precisión son herramientas importantes para el desarrollo de productos y los procesos de fabricación. Los materiales semiconductores son materiales que adquieren propiedades conductoras con el efecto del trabajo mecánico que se les aplica. Estos materiales, que en condiciones normales son aislantes, liberan algunos de sus electrones y se vuelven conductores cuando se aplican efectos externos como calor, luz, efecto magnético o voltaje eléctrico. Cuando se elimina este efecto externo aplicado, estas sustancias vuelven al estado aislante nuevamente. Gracias a estas propiedades, los semiconductores se utilizan ampliamente en el campo de la electrónica.

Los estándares SEMI también se relacionan con fuentes de gas almacenado / comprimido y sistemas de distribución. También se refiere generalmente a gases aditivos altamente tóxicos durante las etapas de difusión a alta temperatura.

En la elaboración de esta norma, se tomaron como referencia las siguientes normas SEMI:

  • Especificación para nitrógeno SEMI C59
  • SEMI E66 Método de prueba para la determinación de la contribución de partículas mediante controladores de flujo másico
  • Purificadores de gas y filtros de gas en el punto de uso SEMI F43, así como método de prueba para la determinación del aditivo de partículas

Nuestra organización, entre los numerosos estudios de prueba, medición, análisis y evaluación que brinda a las empresas de diversos sectores, también brinda servicios de prueba para la evaluación de la contribución de partículas de los componentes del sistema de gas expuestos a gas corrosivo dentro del alcance de la norma SEMI F76, con su personal capacitado y experto y equipos tecnológicos avanzados.

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